کوره CVD افقی (ماد)

توضیحات
Horizontal CVD کوره لوله (سیلیکون کاربید) با استفاده از methyltrichlorosilane (MTS) به عنوان منبع هوا به پوشش مقاوم در برابر make  اکسیداسیون سطح مواد و تغییر شخصیت از ماتریس material.

ویژگی های فنی
1. خورنده گاز بالا دم، گاز قابل احتراق و انفجار، گرد و غبار جامد و کم کالا نقطه ذوب می توان به طور موثر در طول process.
2 رسوب درمان می شود. کوره های افقی رسوب شیمیایی بخار با استفاده از اتاقک طراحی ویژه ای است که اثر آب بندی خوب و توانایی antipollution قوی.
3. تکنولوژی کنترل بیشتر پیشروی به کنترل دقیق به تصویب رسید جریان MTS و فشار، متوجه جریان هوا رسوب پایدار و باریک range.
4 نوسان فشار. واحد طراحی خلاء ضد خوردگی جدید را تضمین طولانی مدت کار مداوم و rate.
5 maintainence پایین. کانال های رسوب متعدد دستیابی به جریان درست یکنواختی، غیر رسوب گوشه مرده و رسوب بهتر effect.

تنظیمات اختیاری افقی CVD کوره
1. درب کوره: HING تبدیل نوع نوع / واگن برقی، دستی تنگ / خودرو قفل حلقه tight
2. کشتی کوره: تمام فولاد کربن لایه / داخلی فولاد ضد زنگ / مجموع steel
3 ضد زنگ. کوره های منطقه گرم: کربن نرم احساس / گرافیت نرم احساس / کامپوزیت سخت احساس / CFC
4. عنصر گرمایش و صدا خفه کن: گرافیت گرافیت مطبوعات / خلوص بالا را فشار دهید، استحکام بالا و چگالی بالا گرافیت / خوب graphite
5 اندازه. سیستم فرآیند گاز: دوره / توده فلومتر، شیر دستی / سوپاپ خودرو، نام تجاری / brand
6 چینی خارجی. پمپ خلاء و اندازه: نام تجاری خارجی / brand
7 چینی. HMI: صفحه نمایش شبیه سازی / صفحه نمایش لمسی / computer
8 صنعتی شخصی. PLC: OMRON / Siemens
9. کنترلر دما: SHIMADEN / EUROTHERM
10. ترموکوپل: نوع C، نوع S، نوع K، N type
11. ضبط: بدون کاغذ ضبط ضبط / کاغذ، نام تجاری خارجی / brand
12 چینی. اجزای الکتریکی: CHINT / اشنایدر / Siemens
13. کامیون بار: نوع غلتکی / نوع چنگال / رانندگی در فواصل طولانی خورده type

مشخصات افقی CVD کوره لوله

تنظیمات. \ مدل	HCVD-060609-C	HCVD-080812-C	HCVD-101015-C	HCVD-121225-C	HCVD-151530-C	HCVD-252035-C	HCVD-252550-C
کار در منطقه حجم (W × H × L) (میلی متر)	600 × 600 × 900	800 × 800 × 1200	1000 × 100 × 1500	1200 × 200 × 2500	1500 × 1500 × 3000	2500 × 2000 × 3500	2500 × 2500 × 5000
ظرفیت بار (کیلوگرم)	300	800	1500	2500	5000	10000	20000
Max.Temperature (° C)	1500	1500	1500	1500	1500	1500	1500
یکنواختی درجه حرارت (° C)	± 7.5	± 7.5	± 7.5	10 ±	10 ±	± 15	± 15
قدرت گرمایش کوره های افقی رسوب شیمیایی بخار (کیلو وات)	210	360	480	600	900	1200	1800
خلاء نهایی (PA)	20	20	20	20	20	20	20
فشار افزایش نرخ (PA / ساعت)	0.67	0.67	0.67	0.67	0.67	0.67	0.67
پارامترهای فوق را می توان به فرآیند مورد نیاز تنظیم، آنها به عنوان استاندارد پذیرش، تنظیمات جزئیات نیست. خواهد شد در پیشنهاد فنی و موافقت کرد.