عمودی CVD کوره (ماد)

توضیحات
Vertical CVD کوره لوله (سیلیکون کاربید) تصویب methyltrichlorosilane (MTS) به عنوان منبع هوا به پوشش مقاوم در برابر اکسیداسیون سطح مواد و تغییر شخصیت از ماتریس material.
 
ویژگی های فنی
1. تکنولوژی کنترل بیشتر پیشروی به تصویب رسید برای کنترل جریان و فشار MTS، متوجه جریان هوا رسوب پایدار و کوچک range.
2 نوسان فشار. کوره خلاء رسوب شیمیایی بخار با استفاده از اتاقک طراحی ویژه ای است که اثر آب بندی خوب و بزرگ عملکرد حفاظت آلودگی.
3. کانال های چندگانه رسوب اطمینان جریان درست یکنواختی، گوشه مرده غیر رسوب و رسوب surface.
4 بزرگ است. از آن است که درمان برای خورنده گاز دم بالا، گاز قابل اشتعال و مواد منفجره، گرد و غبار جامد و نقطه ذوب مواد چسبنده کم در طول process.
5 رسوب. واحد طراحی خلاء ضد خوردگی جدید را تضمین ساعت های طولانی کار مداوم و سرویس کوتاه time.

تنظیمات اختیاری از CVD عمودی کوره لوله
1. کوره های درب: پیچ نوع ارتفاع / نوع ارتفاع هیدرولیک / ارتفاع کتابچه راهنمای کاربر، کتابچه راهنمای تنگ / خودرو قفل حلقه tight
2. کشتی کوره: تمام فولاد کربن لایه / داخلی فولاد ضد زنگ / مجموع steel
3 ضد زنگ. کوره های منطقه گرم: کربن نرم احساس / گرافیت نرم احساس / کامپوزیت سخت احساس / CFC
4. عنصر گرمایش و صدا خفه کن: گرافیت گرافیت مطبوعات / خلوص بالا را فشار دهید، استحکام بالا و چگالی بالا گرافیت / خوب graphite
5 اندازه. سیستم فرآیند گاز: دوره / توده فلومتر، شیر دستی / سوپاپ خودرو، نام تجاری / brand
6 چینی خارجی. پمپ خلاء و اندازه: نام تجاری خارجی / brand
7 چینی. HMI: صفحه نمایش شبیه سازی / صفحه نمایش لمسی / computer
8 صنعتی شخصی. PLC: OMRON / Siemens
9. کنترلر دما: SHIMADEN / EUROTHERM
10. ترموکوپل: نوع C، نوع S، نوع K، N type
11. ضبط: بدون کاغذ ضبط ضبط / کاغذ، نام تجاری خارجی / brand
12 چینی. اجزای الکتریکی: CHINT / اشنایدر / Siemens

مشخصات CVD عمودی کوره لوله

تنظیمات. \ مدل	VCVD-0305-SIC	VCVD-0508- SIC	VCVD-0812- SIC	VCVD-1015- SIC	VCVD-1218- SIC	VCVD-1520- SIC
کار در منطقه اندازه (D × H) (میلی متر)	Φ300 × 500	Φ500 × 800	Φ800 × 1200	Φ1000 × 1500	Φ1200 × 1800	Φ1500 × 2000
ظرفیت بار (کیلوگرم)	50	150	500	1000	2000	3000
Max.Temperature (° C)	1500	1500	1500	1500	1500	1500
یکنواختی درجه حرارت (° C)	± 5	± 5	± 7.5	± 7.5	10 ±	10 ±
قدرت گرمایش از خلاء کوره رسوب شیمیایی بخار ((کیلو وات)	45	90	180	300	420	540
خلاء نهایی (PA)	20	20	20	20	20	20
فشار افزایش نرخ (PA / ساعت)	0.67	0.67	0.67	0.67	0.67	0.67
پارامترهای فوق را می توان به فرآیند مورد نیاز تنظیم، آنها به عنوان استاندارد پذیرش، تنظیمات جزئیات نیست. خواهد شد در پیشنهاد فنی و موافقت کرد.