कल्पना \ मॉडल | एओसी-0304 | एओसी-0406 | एओसी-0810 | एओसी-1012 |
कार्य क्षेत्र का आकार (डी × एल) (मिमी) | Φ300 400 × | Φ400 600 * | Φ800 1000 × | Φ1000 1200 * |
बयान चैम्बर में Max.Temperature (डिग्री सेल्सियस) | 1800 | 1800 | 1800 | 1800 |
वाष्पीकरण कक्ष में Max.Temperature (डिग्री सेल्सियस) | 1000 | 1000 | 1000 | 1000 |
वैक्यूम कोटिंग भट्टियों का तापमान एकरूपता (डिग्री सेल्सियस) | ± 3 | ± 5 | 7.5 ± | 7.5 ± |
बयान चैम्बर में ताप बिजली (किलोवाट) | 60 | 100 | 250 | 450 |
अंतिम वैक्यूम (पा) | 10Pa / 5 × 1010Pa / 5 × 10-3 | 10Pa / 5 × 1010Pa / 5 × 10-3 | 10Pa / 5 × 1010Pa / 5 × 10-3 | 10Pa / 5 × 1010Pa / 5 × 10-3 |
दबाव बढ़ाने के लिए दर (पीए / एच) | 0.5 | 0.5 | 0.5 | 0.5 |
ऊपर मापदंडों प्रक्रिया आवश्यकताओं को समायोजित किया जा सकता है, वे स्वीकृति मानक, विस्तार युक्ति के रूप में नहीं कर रहे हैं। तकनीकी प्रस्ताव और समझौतों में बताया जाएगा। |
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