Горизонтальная ССЗ печи (SiC)

Описание
Horizontal ССЗ трубчатой ​​печи (карбида кремния) использует метилтрихлорсилан (МТС) в качестве источника воздуха в make  поверхность материала стойкого к окислению покрытия и изменить символы матрицы material.

Технические особенности
1. Высокая коррозионная отходящего газа, горючих и взрыв газа, твердого пыли и низкой точкой плавления продукт можно эффективно лечить в течение осаждения process.
2. Горизонтальная печь химического осаждения паров использует специальный разработанный камеры осаждения, которая обеспечивает хороший эффект уплотнительное и сильную способность нейтрализации отработавших газов.
3. Технология наиболее заранее управления приняты для точного контроля потока и давления МТС, понимая, стабильной воздуха осаждения и узкий колебания давления range.
4. Новый дизайн антикоррозионная вакуумный блок обеспечивает длительный непрерывный рабочий период и низкий ОБСЛУЖИВАНИЕ rate.
5. Несколько каналов осаждения достижения потока однородность поля, не осаждения мертвый угол и лучше осаждения effect.

Дополнительная настройка горизонтального CVD печи
1. Печь дверь: Хин поворота Тип / тележка, ручной плотно / Автоматическая блокировка кольцо tight
2. Печь судно: все углеродистой стали / Внутренний слой из нержавеющей стали / нержавеющей Общая steel
3. Печь горячую зону: Мягкая углерода чувствовал / Мягкая графитового войлока / жесткий композитный чувствовал / CFC
4. Нагревательный элемент и заглушите: Изостатическое нажмите графит / Пресс высокой чистоты, высокая прочность и высокая плотность графита / малый размер graphite
5. Система технологического газа: Объем / Масса расходомера, Ручной клапан / Авто клапан иностранных бренда / китайский brand
6. Вакуумный насос и датчик: Иностранный бренд / китайский brand
7. HMI: экран Моделирование / Сенсорный экран / Промышленное личный computer
8. ПЛК: OMRON / Siemens
9. Регулятор температуры: SHIMADEN / EUROTHERM
10. Термопары: тип С, тип S, тип K, N type
11. Диктофон: безбумажный регистратор / бумага рекордер, иностранных бренда / китайский brand
12. Электрические компоненты: CHINT / Шнайдер / Siemens
13. Нагрузка грузовик: роликового типа / вилка типа / сложенном междугородной вождения type

Технические характеристики Горизонтальная CVD трубчатой ​​печи

Спец. \ Модель	HCVD-060609-С	HCVD-080812-С	HCVD-101015-С	HCVD-121225-С	HCVD-151530-С	HCVD-252035-С	HCVD-252550-С
Рабочая зона Размер (Ш × В × Д) (мм)	600 × 600 × 900	800 × 800 × 1200	1000 × 100 × 1500	1200 × 200 × 2500	1500 × 1500 × 3000	2500 × 2000 × 3500	2500 × 2500 × 5000
Грузоподъемность (кг)	300	800	1500	2500	5000	10000	20000
Max.Temperature (° С)	1500	1500	1500	1500	1500	1500	1500
Равномерность температуры (° С)	± 7.5	± 7.5	± 7.5	± 10	± 10	± 15	± 15
Мощность нагрева печи горизонтального химического осаждения (кВт)	210	360	480	600	900	1 200	1 800
Предельный вакуум (Па)	20	20	20	20	20	20	20
Давление Увеличение скорости (Па / ч)	0.67	0.67	0.67	0.67	0.67	0.67	0.67
Приведенные выше параметры могут быть скорректированы с требованиями технологического процесса, они не так приема стандарта, детали спецификации. будет указано в техническом предложении, и соглашений.