Вертикальная ССЗ печи (SiC)

Описание
Vertical ССЗ трубчатой ​​печи (карбида кремния) принимает метилтрихлорсилан (МТС) в качестве источника воздуха, чтобы окисления поверхности материала стойкого покрытия и изменить символы матрицы material.
 
Технические особенности
1. Технология наиболее заранее управления принимается контролировать расход и давление МТС, понимая, стабильной воздуха осаждения и небольшой флуктуации давления range.
2. Вакуумный химического осаждения паров печи используется специальная разработанный камеры осаждения, которая обеспечивает хороший эффект уплотнительное и высокую производительность защиты загрязнение.
3. Несколько каналов осаждения заверить потока однородность поля, без осаждения мертвый угол и большой surface.
4 осаждения. Он имеет лечение для высокого коррозионного газа, хвост горючих и взрывоопасных газов, твердых пыли и низкой температурой плавления липкие материалы во время осаждения process.
5. Новый дизайн антикоррозионная вакуумный блок обеспечивает длинные непрерывные рабочие часы и краткое ОБСЛУЖИВАНИЕ time.

Дополнительная настройка вертикальной трубчатой ​​печи CVD
1. Печь дверь: винтового типа высота / высота гидравлический / ручной подъем, Руководство плотно / Автоматическая блокировка кольцо tight
2. Печь судно: все углеродистой стали / Внутренний слой из нержавеющей стали / нержавеющей Общая steel
3. Печь горячую зону: Мягкая углерода чувствовал / Мягкая графитового войлока / жесткий композитный чувствовал / CFC
4. Нагревательный элемент и заглушите: Изостатическое нажмите графит / Пресс высокой чистоты, высокая прочность и высокая плотность графита / малый размер graphite
5. Система технологического газа: Объем / Масса расходомера, Ручной клапан / Авто клапан иностранных бренда / китайский brand
6. Вакуумный насос и датчик: Иностранный бренд / китайский brand
7. HMI: экран Моделирование / Сенсорный экран / Промышленное личный computer
8. ПЛК: OMRON / Siemens
9. Регулятор температуры: SHIMADEN / EUROTHERM
10. Термопары: тип С, тип S, тип K, N type
11. Диктофон: безбумажный регистратор / бумага рекордер, иностранных бренда / китайский brand
12. Электрические компоненты: CHINT / Шнайдер / Siemens

Технические характеристики Вертикальная CVD трубчатой ​​печи

Спец. \ Модель	VCVD-0305-SIC	VCVD-0508- СИК	VCVD-0812- СИК	VCVD-1015- СИК	VCVD-1218- СИК	VCVD-1520- СИК
Рабочая зона Размер (Д × В) (мм)	Φ300 × 500	Φ500 × 800	Φ800 × 1200	Φ1000 × 1500	Φ1200 × 1800	Φ1500 × 2000
Грузоподъемность (кг)	50	150	5 часов	1000	2000	3000
Max.Temperature (° С)	1500	1500	1500	1500	1500	1500
Равномерность температуры (° С)	± 5	± 5	± 7.5	± 7.5	± 10	± 10
Мощность нагрева вакуумной химического осаждения печи ((кВт)	45	90	180	300	420	540
Предельный вакуум (Па)	20	20	20	20	20	20
Давление Увеличение скорости (Па / ч)	0.67	0.67	0.67	0.67	0.67	0.67
Приведенные выше параметры могут быть скорректированы с требованиями технологического процесса, они не так приема стандарта, детали спецификации. будет указано в техническом предложении, и соглашений.