Spec \ Modelo | AOC-0304 | AOC-0406 | AOC-0810 | AOC-1012 |
Zona de Trabajo Tamaño (D x L) (mm) | Φ300 × 400 | Φ400 × 600 | Φ800 × 1000 | Φ1000 × 1200 |
Max.Temperature en la cámara de deposición (° C) | 1800 | 1800 | 1800 | 1800 |
Max.Temperature en la cámara de evaporación (° C) | 1000 | 1000 | 1000 | 1000 |
Uniformidad de la temperatura de los hornos de revestimiento de vacío (° C) | ± 3 | ± 5 | ± 7,5 | ± 7,5 |
Calefacción eléctrica en la cámara de depósito (kW) | 60 | 100 | 250 | 450 |
Vacío final (Pa) | 10 Pa / 5 × 1010 Pa / 5 × 10-3 | 10 Pa / 5 × 1010 Pa / 5 × 10-3 | 10 Pa / 5 × 1010 Pa / 5 × 10-3 | 10 Pa / 5 × 1010 Pa / 5 × 10-3 |
Presión aumento de la tarifa (Pa / h) | 0.5 | 0.5 | 0.5 | 0.5 |
Los parámetros anteriores se pueden ajustar a los requisitos del proceso, no son tan estándar de aceptación, el detalle spec. se indica en la propuesta técnica y acuerdos. |
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