Descripción Horizontal ECV horno tubular (carburo de silicio) utiliza metiltriclorosilano (MTS) como fuente de aire para revestimiento resistente make oxidación de la superficie de material y cambiar los caracteres de la matriz material.
Características técnicas 1. Alta gas corrosivo cola, gas combustible y explosión, polvo sólido y producto de bajo punto de fusión se pueden tratar con eficacia durante process. 2 deposición. Horizontal horno de deposición de vapor químico utiliza cámara de deposición diseñado especial, que asegura un buen efecto de sellado y fuerte capacidad de anticontaminación. 3. La tecnología de control más avanzada se adopta para un control preciso del flujo y la presión MTS, dándose cuenta de flujo de aire deposición estable y estrecha range. 4 fluctuación de la presión. La nueva unidad de diseño anti vacío corrosión asegura largo período de trabajo continuo y baja rate. 5 afecto. Canales de deposición Múltiples lograr el flujo de uniformidad de campo, no deposición esquina muerta y mejor deposición effect.
Configuración opcional de Horizontal ECV Horno 1. Puerta del horno: Hing tipo girando Tipo / carro, Manual apretado / Auto lock-anillo tight 2. Cuba del horno: Todo el acero de carbono de capa / interior de acero inoxidable / acero steel 3 total. Horno zona caliente: carbono suave fieltro / grafito suave fieltro / compuesto duro fieltro / CFC 4. Elemento de calefacción y amortiguar: isostático de prensa de grafito / Prensa alta pureza, de alta resistencia y alta densidad de grafito / graphite 5 tamaño fino. Sistema de proceso de gas: Volumen / Masa caudalímetro, válvula manual / válvula automática, marca / brand 6 chino de Relaciones Exteriores. Bomba de vacío y de calibre: marca extranjera / brand 7 chino. HMI: Pantalla de simulación / pantalla táctil / Industrial computer 8 personal. PLC: OMRON / Siemens 9. Controlador de temperatura: Shimaden / EUROTHERM 10. Termopar: Tipo C, Tipo S, tipo K, N type 11. Grabadora: sin papel registrador / papel, marca extranjera / brand 12 chino. Componentes eléctricos: CHINT / Schneider / Siemens 13. Camión de carga: Tipo de rodillo / Tipo Tenedor / conducción doblado de larga distancia type
Especificaciones de Horizontal ECV horno tubular
Spec. \ Modelo
HCvD-060609-C
HCvD-080812-C
HCvD-101015-C
HCvD-121.225 mil-C
HCvD-151530-C
HCvD-252035-C
HCvD-252550-C
Zona de Trabajo Dimensiones (W × H × L) (mm)
600 × 600 × 900
800 × 800 × 1.200
1000 × 100 × 1500
1.200 × 200 × 2.500
1500 × 1500 × 3000
2500 × 2000 × 3500
2500 × 2500 × 5000
Capacidad de carga (kg)
300
800
1500
2500
5000
10000
20000
Max.Temperature (° C)
1500
1500
1500
1500
1500
1500
1500
La uniformidad de temperatura (° C)
± 7,5
± 7,5
± 7,5
± 10
± 10
± 15
± 15
Potencia de calentamiento de horno horizontal deposición de vapor químico (kW)
210
360
480
600
900
1200
1800
Vacío final (Pa)
20
20
20
20
20
20
20
Presión aumento de la tarifa (Pa / h)
0.67
0.67
0.67
0.67
0.67
0.67
0.67
Los parámetros anteriores se pueden ajustar a los requisitos del proceso, no son tan estándar de aceptación, el detalle spec. se indica en la propuesta técnica y acuerdos.
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