Vertical ECV Horno (SiC)

Descripción
Vertical ECV horno tubular (carburo de silicio) adopta metiltriclorosilano (MTS) como fuente de aire para hacer recubrimiento resistente a la oxidación superficial de material y cambiar los caracteres de la matriz material.
 
Características técnicas
1. La tecnología de control más avanzada se adopta para controlar el flujo y la presión del sistema multilateral de comercio, al darse cuenta del flujo de aire deposición estable y pequeña range.
2 fluctuación de la presión. Horno de vacío deposición de vapor químico utiliza cámara de deposición diseñado especial, que asegura un buen efecto de sellado y un gran rendimiento protección contra la contaminación.
3. Canales de deposición Múltiples aseguran uniformidad del campo de flujo, esquina muerta no deposición y gran surface.
4 deposición. Tiene tratamiento para el alto gas de cola corrosivo, gas inflamable y explosivo, el polvo sólido y punto de fusión materiales pegajosos bajos durante el process.
5 deposición. La nueva unidad de diseño anti vacío corrosión garantiza largas horas de trabajo continuas y corta afecto time.

Configuración opcional de Vertical ECV horno tubular
1. Horno puerta: tornillo tipo elevación / hidráulico tipo de elevación / elevación manual, Manual apretado / Auto lock-anillo tight
2. Cuba del horno: Todo el acero de carbono de capa / interior de acero inoxidable / acero steel
3 total. Horno zona caliente: carbono suave fieltro / grafito suave fieltro / compuesto duro fieltro / CFC
4. Elemento de calefacción y amortiguar: isostático de prensa de grafito / Prensa alta pureza, de alta resistencia y alta densidad de grafito / graphite
5 tamaño fino. Sistema de proceso de gas: Volumen / Masa caudalímetro, válvula manual / válvula automática, marca / brand
6 chino de Relaciones Exteriores. Bomba de vacío y de calibre: marca extranjera / brand
7 chino. HMI: Pantalla de simulación / pantalla táctil / Industrial computer
8 personal. PLC: OMRON / Siemens
9. Controlador de temperatura: Shimaden / EUROTHERM
10. Termopar: Tipo C, Tipo S, tipo K, N type
11. Grabadora: sin papel registrador / papel, marca extranjera / brand
12 chino. Componentes eléctricos: CHINT / Schneider / Siemens

Especificaciones de Vertical ECV horno tubular

Spec. \ Modelo	VCVD-0305-SIC	VCVD-0508- SIC	VCVD-0812- SIC	VCVD-1015- SIC	VCVD-1218- SIC	VCVD-1520- SIC
Zona de Trabajo Tamaño (D x H) (mm)	Φ300 × 500	Φ500 × 800	Φ800 × 1200	Φ1000 × 1.500	Φ1200 × 1800	Φ1500 × 2000
Capacidad de carga (kg)	50	150	500	1000	2000	3000
Max.Temperature (° C)	1500	1500	1500	1500	1500	1500
La uniformidad de temperatura (° C)	± 5	± 5	± 7,5	± 7,5	± 10	± 10
Potencia de calentamiento de vacío deposición química de vapor horno ((kW)	45	90	180	300	420	540
Vacío final (Pa)	20	20	20	20	20	20
Presión aumento de la tarifa (Pa / h)	0.67	0.67	0.67	0.67	0.67	0.67
Los parámetros anteriores se pueden ajustar a los requisitos del proceso, no son tan estándar de aceptación, el detalle spec. se indica en la propuesta técnica y acuerdos.