Cuptor CVD orizontală (sic)

Descriere
Horizontal CVD cuptor tub (carbură de siliciu) metiltriclorosilan folosește (MTS) ca sursă de aer pentru a strat rezistent make  oxidare suprafață de material și de a schimba caractere de matrice material.

Caracteristici tehnice
1. Mare gaze corozive coadă, gaz combustibil și explozie, praf solid și produs scăzut punct de topire pot fi tratate eficient timpul depunerii process.
2. Orizontală cuptor depunere chimică din vapori utilizează camera special conceput de depunere, care asigură un efect de etanșare bună și capacitatea de puternic antipoluare.
3. Tehnologia de control mai în avans este adoptată la control precis debitul și presiunea MTS, realizând fluxul de aer depunere stabil și îngust range.
4 fluctuație presiune. Noua unitate de proiectare anti vid coroziune asigură perioadă lungă de timp de lucru continuu și rate.
5 maintainence scăzut. Canale de depunere multiple realiza câmp de curgere uniformitate, non-depunere colț mort și mai bine de depunere effect.

Configurarea opțional de orizontal BCV cuptor
1. Ușă cuptor: Hing cotitură Tip Tip / cărucior, Manual strâns / Auto de blocare inel tight
2. Navă cuptor: Toate oțel carbon strat / interior din oțel inoxidabil / total steel
3 inoxidabil. Cuptor zona fierbinte: carbon Soft simțit / grafit Soft simțit / Hard compozit simțit / CFC
4. Element de încălzire și mufla: grafit de presă izostatice / Comunicate de înaltă puritate, de înaltă rezistență și de înaltă densitate grafit / fin dimensiunea graphite
5. Sistem de proces gaz: Volumul / Mass debitmetru, supapa manuală / supapă Auto, marca / brand
6 chinez de Externe. Pompa de vid și ecartament: marca străină / brand
7 chinez. HMI: Ecranul Simulare / Ecran tactil / computer
8 Industrial personal. PLC: OMRON / Siemens
9. Controler de temperatura: Shimaden / EUROTHERM
10. Termocuplu: Tip C, tip S, tip K, N type
11. Recorder: Paperless recorder recorder / hârtie, marca străină / brand
12 chinez. Componente electrice: Chint / Schneider / Siemens
13. Camion: Tip role / Tip Fork / conducere pe distanțe lungi Pliat type

Specificații de orizontală CVD Tube Furnace

Spec. \ Model	HCVD-060609-C	HCVD-080812-C	HCVD-101015-C	HCVD-121225-C	HCVD-151530-C	HCVD-252035-C	HCVD-252550-C
Zona de lucru Dimensiuni (W x H x L) (mm)	600 × 600 × 900	800 × 800 × 1200	1000 × 100 × 1500	1,200 × 200 × 2500	1500 × 1500 × 3000	2500 × 2000 × 3500	2500 × 2500 × 5000
Capacitatea de încărcare (kg)	300	800	1500	2500	5000	10000	20000
Temperatura maximă (° C)	1500	1500	1500	1500	1500	1500	1500
Uniformitatea temperaturii (° C)	± 7.5	± 7.5	± 7.5	± 10	± 10	± 15	± 15
Încălzire Puterea orizontal cuptor depunere chimică din vapori (kW)	210	360	480	600	900	1,200	1,800
Vid final (Pa)	20	20	20	20	20	20	20
Presiune crește rata (Pa / h)	0,67	0,67	0,67	0,67	0,67	0,67	0,67
Parametrii de mai sus pot fi adaptate la cerințele de procesare, acestea nu sunt standard acceptare, spec detaliu. va fi menționat în propunerea tehnică și acordurile.