Spec \ model | HVGQ-334D | HVGQ-446D | HVGQ-557D | HVGQ-669D | HVGQ-7711D | HVGQ-8812D | HVGQ-9915D |
Dimensiunea efectivă fierbinte zonă W x H x L (mm) | 300 × 300 × 400 | 400 × 400 × 600 | 500 × 500 × 700 | 600 × 600 × 900 | 700 × 700 × 1100 | 800 × 800 × 1200 | 900 × 900 × 1500 |
Capacitate de încărcare (kg) | 75 | 250 | 400 | 600 | 1000 | 1,200 | 1500 |
Încălzire Putere (kW) | 48 | 75 | 90 | 150 | 270 | 360 | 480 |
Temperatura maximă (° C) | 1150 | 1150 | 1150 | 1150 | 1150 | 1150 | 1150 |
1,350 | 1,350 | 1,350 | 1,350 | 1,350 | 1,350 | 1,350 | |
Uniformitatea temperaturii (° C) | ± 5 | ± 5 | ± 5 | ± 5 | ± 5 | ± 5 | ± 5 |
Gradul de vid de vid gemene cuptor răcirea gazului de camera (Pa) | 4 × 104 × 10-1 | 4 × 104 × 10-1 | 4 × 104 × 10-1 | 4 × 104 × 10-1 | 4 × 104 × 10-1 | 4 × 104 × 10-1 | 4 × 104 × 10-1 |
4 × 104 × 10-3/ 6 × 10-4 | 4 × 104 × 10-3/ 6 × 10-4 | 4 × 104 × 10-3/ 6 × 10-4 | 4 × 104 × 10-3/ 6 × 10-4 | 4 × 104 × 10-3/ 6 × 10-4 | 4 × 104 × 10-3/ 6 × 10-4 | 4 × 104 × 10-3/ 6 × 10-4 | |
Presiune crește rata (Pa / h) | ≤0.26 | ≤0.26 | ≤0.26 | ≤0.26 | ≤0.26 | ≤0.26 | ≤0.26 |
≤0.65 | ≤0.65 | ≤0.65 | ≤0.65 | ≤0.65 | ≤0.65 | ≤0.65 | |
Timp de transport (S) | ≤12 | ≤15 | ≤20 | ≤25 | ≤30 | ≤30 | ≤35 |
Presiune de stingere cu gaz (bar) | 6/10/15/20 | 6/10/15/20 | 6/10/15/20 | 6/10/15/20 | 6/10/15/20 | 6/10/15/20 | 6/10/15/20 |
Gaz de răcire (100.00%) | NN2 | NN2 | NN2 | NN2 | NN2 | NN2 | NN2 |
Etichetă: Vid presiune Cuptoare răcirea gazului | Orizontală Camera Twin vacuum de înaltă presiune de gaz călire Cuptor | Camera twin vid presiune Cuptoare răcirea gazului | Vacuum Camera Twin de înaltă presiune Cuptoare răcirea gazului
Etichetă: Aspirator vertical CVD Tube Furnace | Vertical carbură de siliciu Tube Furnace | Vertical CVD Cuptor pentru carbură de siliciu