Vertical CVD Cuptor (sic)

Descriere
Vertical CVD cuptor tub (carbură de siliciu) metiltriclorosilan adoptă (MTS) ca sursă de aer pentru a face rezistent la oxidare suprafață de acoperire materiale și de a schimba caractere de matrice material.
 
Caracteristici tehnice
1. Tehnologia de control mai în avans este adoptată pentru a controla fluxul și presiunea de MTS, realizând fluxul de aer depunere stabilă și mici range.
2 fluctuație presiune. Cuptor depunere chimică din vapori în vid foloseste camere speciale de depunere proiectat, care asigură un efect de etanșare bună și performanțe excelente de protecție de contaminare.
3. Canale de depunere multiple asigura fluxul de uniformitate domeniu, colț mort non-depunere și mare surface.
4 depunere. Ea are tratament pentru ridicat gazul rezidual coroziv, gaz inflamabil și exploziv, praf solid și materiale cu punct de topire lipicioase în timpul process.
5 depunere. Noua unitate de proiectare anti vid coroziune asigură timp de ore de lucru continuu și maintainence scurt time.

Configurarea opțional de Vertical BCV Tube Furnace
1. Cuptor ușă: șurub de tip altitudine / hidraulic tip altitudine / altitudine manual, Manual strâns / Auto de blocare inel tight
2. Navă cuptor: Toate oțel carbon strat / interior din oțel inoxidabil / total steel
3 inoxidabil. Cuptor zona fierbinte: carbon Soft simțit / grafit Soft simțit / Hard compozit simțit / CFC
4. Element de încălzire și mufla: grafit de presă izostatice / Comunicate de înaltă puritate, de înaltă rezistență și de înaltă densitate grafit / fin dimensiunea graphite
5. Sistem de proces gaz: Volumul / Mass debitmetru, supapa manuală / supapă Auto, marca / brand
6 chinez de Externe. Pompa de vid și ecartament: marca străină / brand
7 chinez. HMI: Ecranul Simulare / Ecran tactil / computer
8 Industrial personal. PLC: OMRON / Siemens
9. Controler de temperatura: Shimaden / EUROTHERM
10. Termocuplu: Tip C, tip S, tip K, N type
11. Recorder: Paperless recorder recorder / hârtie, marca străină / brand
12 chinez. Componente electrice: Chint / Schneider / Siemens

Specificații de verticală CVD Tube Furnace

Spec. \ Model	VCVD-0305-SIC	VCVD-0508- SIC	VCVD-0812- SIC	VCVD-1015- SIC	VCVD-1218- SIC	VCVD-1520- SIC
Zona de lucru Dimensiuni (D x H) (mm)	Φ300 × 500	Φ500 × 800	Φ800 × 1,200	Φ1000 × 1,500	Φ1200 × 1,800	Φ1500 × 2,000
Capacitatea de încărcare (kg)	50	150	500	1000	2000	3000
Temperatura maximă (° C)	1500	1500	1500	1500	1500	1500
Uniformitatea temperaturii (° C)	± 5	± 5	± 7.5	± 7.5	± 10	± 10
Încălzire Puterea de vacuum cuptor depunere chimică din vapori ((kW)	45	90	180	300	420	540
Vid final (Pa)	20	20	20	20	20	20
Presiune crește rata (Pa / h)	0,67	0,67	0,67	0,67	0,67	0,67
Parametrii de mai sus pot fi adaptate la cerințele de procesare, acestea nu sunt standard acceptare, spec detaliu. va fi menționat în propunerea tehnică și acordurile.