Vaakasuora CVD Furnace (SIC)

Kuvaus
Horizontal CVD putkiuuniin (piikarbidi) käyttää metyylitrikloorisilaani (MTS) kuin ilman lähde make  materiaalin pintaan hapettumista kestävä pinnoite ja muuttaa merkkiä matriisin material.

Tekniset ominaisuudet
1. Korkea syövyttävä Jäännöskaasu, palavista ja räjähdys kaasu, kiinteät pöly ja alhainen sulamispiste tuote voidaan käsitellä tehokkaasti aikana laskeuma process.
2. Vaakasuora CVD uunin käyttää erityinen suunniteltu saostuskammiossa, joka takaa hyvä tiivistys vaikutus ja vahva saastumista kyky.
3. Kaikkein etukäteen säätötekniikan omaksutaan tarkka valvonta MTS virtausta ja painetta, ymmärtämättä vakaa laskeuman ilmavirran ja kapea paineen vaihtelu range.
4. Uusi muotoilu Korroosionestotuotteet imuri takaa pitkän jatkuva työjakson ja alhainen maintainence rate.
5. Useita laskeuma kanavat saavuttaa virtauskenttä tasaisuus, ei-laskeuma kuollut kulma ja paremmin laskeuman effect.

Valinnainen konfigurointi Vaaka CVD Uunien
1. Uunin ovi: Hing kääntämällä tyyppi / vaunu tyyppi, Manuaalinen tiukka / Automaattinen lock-rengas tight
2. Uuniastian: Kaikki hiiliteräs / Sisäkerros ruostumaton teräs / Yhteensä ruostumaton steel
3. Uuni kuuma vyöhyke: Pehmeä hiili huopa / Pehmeä grafiittivillaeriste / Hard komposiitti tuntui / CFC
4. Lämmityselementti ja vaimentavat: isostaattiset paina grafiitti / Press erittäin puhdasta, lujuus ja korkea tiheys grafiitti / hieno koko graphite
5. Prosessikaasu järjestelmä: Volume / massavirtausmittarilla, manuaalinen venttiili / automaattinen venttiili, Ulkomaiset brändi / kiina brand
6. Alipainepumppu ja mittari: Ulkomaiset brändi / kiina brand
7. HMI: Simulaatio / kosketusnäyttö / Industrial henkilökohtainen computer
8. OYJ: OMRON / Siemens
9. Lämpötilansäädin: SHIMADEN / EUROTHERM
10. Termoelementti: C tyyppi, S tyyppi, K-tyyppi, N type
11. Tallennin: Paperiton tallennin / paperi nauhuri, Ulkomaiset brändi / kiina brand
12. Electric komponentit: CHINT / Schneider / Siemens
13. Kuorma kuorma: rulla tyyppi / Fork tyyppi / Taitettu pitkän matkan ajaminen type

Tekniset Vaaka CVD putkiuuni

Spec. \ Malli	HCVD-060609-C-	HCVD-080812-C-	HCVD-101015-C-	HCVD-121225-C-	HCVD-151530-C-	HCVD-252035-C-	HCVD-252550-C-
Working Zone Koko (L × K × L) (mm)	600 × 600 × 900	800 × 800 × 1200	1000 × 100 × 1500	1200 × 200 × 2500	1500 × 1500 × 3000	2500 × 2000 × 3500	2500 × 2500 × 5000
Maksimikantavuus (kg)	300	800	1500	2500	5000	10000	20000
Max.Temperature (° C)	1500	1500	1500	1500	1500	1500	1500
Lämpötila Tasaisuus (° C)	± 7.5	± 7.5	± 7.5	± 10	± 10	± 15	± 15
Lämmitysteho horisontaalisen CVD uunissa (kW)	210	360	480	600	900	1200	1800
Ultimate Vacuum (Pa)	20	20	20	20	20	20	20
Paineen nousu Luokitus (Pa / h)	0.67	0.67	0.67	0.67	0.67	0.67	0.67
Edellä parametreja voidaan säätää prosessin vaatimusten, ne eivät ole hyväksymisenä vakiona, yksityiskohta spec. on esitetty teknisissä ehdotuksessa ja sopimuksia.