Pystysuora CVD Furnace (SIC)

Kuvaus
Vertical CVD putkiuuniin (piikarbidi) hyväksyy metyylitrikloorisilaani (MTS) kuin ilman lähde tehdä materiaalin pintaan hapettumista kestävä pinnoite ja muuttaa merkkiä matriisin material.
 
Tekniset ominaisuudet
1. Kaikkein etukäteen säätötekniikan hyväksytään ohjaamaan virtausta ja painetta MTS, ymmärtämättä vakaa laskeuman ilmavirran ja pieni paine vaihtelu range.
2. Tyhjiö CVD uunin käyttää erityinen suunniteltu saostuskammiossa, joka takaa hyvä tiivistys vaikutus ja suuri saastuminen suoja suorituskykyä.
3. Useita laskeuma kanavia vakuuttaa virtauskenttä tasaisuus, ei-laskeuma kuollut kulma ja suuri laskeuman surface.
4. Se on hoitoa korkean syövyttävä hännän kaasu, palava ja räjähtävä kaasu, kiinteät pöly ja alhainen sulamispiste tahmea materiaaleja aikana laskeuman process.
5. Uusi muotoilu Korroosionestotuotteet imuri takaa pitkän jatkuvaa työaikaa ja lyhyt maintainence time.

Valinnainen konfigurointi Pysty CVD putkiuuni
1. Uunin ovi: ruuvi korkeus tyyppi / hydraulinen korkeus tyyppi / manuaalinen korkeus, Manuaalinen tiukka / Automaattinen lock-rengas tight
2. Uuniastian: Kaikki hiiliteräs / Sisäkerros ruostumaton teräs / Yhteensä ruostumaton steel
3. Uuni kuuma vyöhyke: Pehmeä hiili huopa / Pehmeä grafiittivillaeriste / Hard komposiitti tuntui / CFC
4. Lämmityselementti ja vaimentavat: isostaattiset paina grafiitti / Press erittäin puhdasta, lujuus ja korkea tiheys grafiitti / hieno koko graphite
5. Prosessikaasu järjestelmä: Volume / massavirtausmittarilla, manuaalinen venttiili / automaattinen venttiili, Ulkomaiset brändi / kiina brand
6. Alipainepumppu ja mittari: Ulkomaiset brändi / kiina brand
7. HMI: Simulaatio / kosketusnäyttö / Industrial henkilökohtainen computer
8. OYJ: OMRON / Siemens
9. Lämpötilansäädin: SHIMADEN / EUROTHERM
10. Termoelementti: C tyyppi, S tyyppi, K-tyyppi, N type
11. Tallennin: Paperiton tallennin / paperi nauhuri, Ulkomaiset brändi / kiina brand
12. Electric komponentit: CHINT / Schneider / Siemens

Tekniset Pysty CVD putkiuuni

Spec. \ Malli	VCVD-0305-SIC-	VCVD-0508- SIC-	VCVD-0812- SIC-	VCVD-1015- SIC-	VCVD-1218- SIC-	VCVD-1520- SIC-
Working Zone Koko (S × K) (mm)	Φ300 × 500	Φ500 × 800	Φ800 × 1200	Φ1000 × 1500	Φ1200 × 1800	Φ1500 × 2000
Maksimikantavuus (kg)	50	150	500	1000	2000	3000
Max.Temperature (° C)	1500	1500	1500	1500	1500	1500
Lämpötila Tasaisuus (° C)	± 5	± 5	± 7.5	± 7.5	± 10	± 10
Lämmitysteho tyhjiö CVD uunissa ((kW)	45	90	180	300	420	540
Ultimate Vacuum (Pa)	20	20	20	20	20	20
Paineen nousu Luokitus (Pa / h)	0.67	0.67	0.67	0.67	0.67	0.67
Edellä parametreja voidaan säätää prosessin vaatimusten, ne eivät ole hyväksymisenä vakiona, yksityiskohta spec. on esitetty teknisissä ehdotuksessa ja sopimuksia.