Horisontal CVD Furnace (SiC)

Deskripsi
Horizontal CVD tabung tungku (Silicon Carbide) menggunakan methyltrichlorosilane (MTS) sebagai sumber air untuk lapisan tahan make  bahan oksidasi permukaan dan mengubah karakter dari matriks material.

Fitur Teknik
1. Tinggi korosif gas ekor, gas yang mudah terbakar dan ledakan, debu padat dan produk titik leleh rendah dapat diobati secara efektif selama deposisi process.
2. Horisontal tungku deposisi uap kimia menggunakan dirancang khusus deposisi chamber, yang menjamin efek penyegelan yang baik dan kemampuan antipolusi kuat.
3. Teknologi kontrol paling maju diadopsi untuk kontrol yang tepat aliran MTS dan tekanan, menyadari stabil deposisi aliran udara dan sempit fluktuasi tekanan range.
4. Unit desain vakum anti korosi baru memastikan masa kerja terus menerus panjang dan pemeliharaan rate.
5 rendah. Beberapa saluran deposisi mencapai aliran bidang keseragaman, non-deposisi sudut mati dan deposisi baik effect.

Konfigurasi opsional Horizontal CVD Furnace
1. Tungku pintu: Hing mengubah jenis jenis / troli, Pedoman ketat / Auto kunci-ring tight
2. Tungku kapal: Semua baja karbon / batin lapisan stainless steel / Jumlah steel
3 stainless. Tungku zona panas: karbon Lembut merasa / Lembut grafit merasa / Hard komposit merasa / CFC
4. Elemen pemanas dan meredam: Isostatic tekan grafit / kemurnian tinggi Press, kekuatan tinggi dan kepadatan tinggi grafit / baik ukuran graphite
5. Sistem proses gas: Volume / Mass aliran meter, katup Manual / katup Auto, merek / brand
6 Cina Asing. Pompa vakum dan mengukur: merek asing / brand
7 Cina. HMI: layar Simulasi / Layar sentuh / Industri computer
8 pribadi. PLC: OMRON / Siemens
9. Pengontrol suhu: Shimaden / EUROTHERM
10. Termokopel: tipe C, tipe S, tipe K, N type
11. Perekam: paperless perekam perekam / kertas, merek asing / brand
12 Cina. Listrik komponen: Chint / Schneider / Siemens
13. Beban truk: tipe roller / Fork Jenis / jarak jauh Dilipat mengemudi type

Spesifikasi Horizontal CVD Tabung Furnace

Spec. \ Model	HCVD-060609-C	HCVD-080812-C	HCVD-101015-C	HCVD-121225-C	HCVD-151530-C	HCVD-252035-C	HCVD-252550-C
Zona kerja Ukuran (W × H × L) (mm)	600 × 600 × 900	800 × 800 × 1200	1000 × 100 × 1500	1200 × 200 × 2500	1500 × 1500 × 3000	2500 × 2000 × 3500	2500 × 2500 × 5000
Kapasitas Angkut (kg)	300	800	1500	2500	5000	10000	20000
Max.Temperature (° C)	1500	1500	1500	1500	1500	1500	1500
Suhu Keseragaman (° C)	± 7,5	± 7,5	± 7,5	± 10	± 10	± 15	± 15
Pemanasan Kekuatan horisontal tungku deposisi uap kimia (kW)	210	360	480	600	900	1200	1800
Vacuum Ultimate (Pa)	20	20	20	20	20	20	20
Tekanan Kenaikan Tingkat (Pa / h)	0.67	0.67	0.67	0.67	0.67	0.67	0.67
Parameter di atas dapat disesuaikan dengan kebutuhan proses, mereka tidak menerima standar, detail spec. akan dinyatakan dalam proposal teknis dan kesepakatan.