Vertikal CVD Furnace (SiC)

Deskripsi
Vertical CVD tabung tungku (Silicon Carbide) mengadopsi methyltrichlorosilane (MTS) sebagai sumber air untuk membuat lapisan tahan oksidasi permukaan material dan mengubah karakter dari matriks material.
 
Fitur Teknik
1. Teknologi kontrol paling maju diadopsi untuk mengontrol aliran dan tekanan dari MTS, menyadari stabil deposisi aliran udara dan kecil fluktuasi tekanan range.
2. Tungku vakum deposisi uap kimia menggunakan dirancang khusus deposisi chamber, yang menjamin efek penyegelan yang baik dan kinerja perlindungan kontaminasi besar.
3. Beberapa saluran deposisi menjamin aliran bidang keseragaman, sudut mati non-deposisi dan deposisi besar surface.
4. Ini memiliki pengobatan untuk tinggi gas ekor korosif, gas mudah terbakar dan meledak, debu padat dan titik leleh bahan lengket rendah selama process.
5 deposisi. Unit desain vakum anti korosi baru memastikan jam kerja terus menerus panjang dan pemeliharaan singkat time.

Konfigurasi opsional Vertikal CVD Tabung Furnace
1. Tungku pintu: sekrup jenis elevasi / ketinggian hidrolik jenis / elevasi manual, manual ketat / Auto kunci-ring tight
2. Tungku kapal: Semua baja karbon / batin lapisan stainless steel / Jumlah steel
3 stainless. Tungku zona panas: karbon Lembut merasa / Lembut grafit merasa / Hard komposit merasa / CFC
4. Elemen pemanas dan meredam: Isostatic tekan grafit / kemurnian tinggi Press, kekuatan tinggi dan kepadatan tinggi grafit / baik ukuran graphite
5. Sistem proses gas: Volume / Mass aliran meter, katup Manual / katup Auto, merek / brand
6 Cina Asing. Pompa vakum dan mengukur: merek asing / brand
7 Cina. HMI: layar Simulasi / Layar sentuh / Industri computer
8 pribadi. PLC: OMRON / Siemens
9. Pengontrol suhu: Shimaden / EUROTHERM
10. Termokopel: tipe C, tipe S, tipe K, N type
11. Perekam: paperless perekam perekam / kertas, merek asing / brand
12 Cina. Listrik komponen: Chint / Schneider / Siemens

Spesifikasi Vertikal CVD Tabung Furnace

Spec. \ Model	VCVD-0305-SIC	VCVD-0508- SIC	VCVD-0812- SIC	VCVD-1015- SIC	VCVD-1218- SIC	VCVD-1520- SIC
Zona kerja Ukuran (D × H) (mm)	Φ300 × 500	Φ500 × 800	Φ800 × 1200	Φ1000 × 1500	Φ1200 × 1800	Φ1500 × 2000
Kapasitas Angkut (kg)	50	150	500	1000	2000	3000
Max.Temperature (° C)	1500	1500	1500	1500	1500	1500
Suhu Keseragaman (° C)	± 5	± 5	± 7,5	± 7,5	± 10	± 10
Pemanasan Kekuatan vakum tungku deposisi uap kimia ((kW)	45	90	180	300	420	540
Vacuum Ultimate (Pa)	20	20	20	20	20	20
Tekanan Kenaikan Tingkat (Pa / h)	0.67	0.67	0.67	0.67	0.67	0.67
Parameter di atas dapat disesuaikan dengan kebutuhan proses, mereka tidak menerima standar, detail spec. akan dinyatakan dalam proposal teknis dan kesepakatan.