수평 CVD로 (C)

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기술
Horizontal CVD 노 (탄소)는 탄소 물질 및 CVD CVI 처리 작동 탄소원으로서 (C3H8 등) 탄화수소 가스를 사용하는 CVD 복합 재료에 적용된다.

기술적 특징
1.The 노 가공 구역의 크기가 매우 크기 부분 CVD treatment.
2.Horizontal 진공 탄소로를 만족시킬 수 5m × 250 × 250을 달성 할 수있는 것은 큰 온도 uniformity.
3.Special 설계된 증착 챔버에서 달성 한 여러 온도 제어 영역을 채택 좋은 밀봉 효과와 강한 공해 능력.
4.Multiple 증착 채널 유동장 균일 성, 비 성막 죽은 모서리 큰 증착 surface.
5.Tar, 고체 분말을 보장 및 유기 가스는 증착 중에 process.

효과적으로 취급수평 CVD로의 옵션 구성
1. 전기로 문 : 회전 타입 / 트롤리 타입, 수동 꽉 / 자동 잠금 링 tight
2 힌지. 전기로 용기 : 모든 탄소강 / 내부 층 스테인레스 스틸 / 전체 스테인레스 steel
3. 뜨거운 영역을 용광로 소프트 카본 / 소프트 흑연 / 하드 복합체 / CFC
4을 느꼈다 느꼈다. 난방 요소 및 머플 : 정수압 프레스 흑연 /를 눌러 고순도, 고강도 및 고밀도 흑연 / 미세 크기 graphite
5. 공정 가스 시스템 : 볼륨 / 질량 흐름 미터, 수동 밸브 / 자동 밸브, 외국 브랜드 / 중국어 brand
6. 진공 펌프 및 게이지 : 외국 브랜드 / 중국어 brand
7. HMI : 시뮬레이션 화면 / 터치 스크린 / 산업 개인 computer
8. PLC : OMRON / Siemens
9. 온도 컨트롤러 : SHIMADEN / EUROTHERM
10. 열전대 : C 형, S 형, K 형, N type
11. 레코더 : 페이퍼리스 레코더 / 종이 레코더, 외국 브랜드 / 중국어 brand
12. 전기 구성 요소 : CHINT / 슈나이더 / Siemens
13. 로드 트럭 : 롤러 타입 / 포크 형 / 접이식 장거리 운전 type

수평 CVD로의 사양

사양 \ 모델	HCVD -060609-C	HCVD -080812-C	HCVD -101015-C	HCVD -121225-C	HCVD -151530-C	HCVD -252035-C	HCVD -252550-C
작업 영역 크기 (W × H × L) (㎜)	600 × 600 × 900	× 800 × 1200 (800)	1000 × 1000 × 1500	× 200 × 2500 1200	1500 1500 × 3000	2500 × 2000 × 3500	2500 × 2500 × 5000
부하 용량 (㎏)	(300)	(800)	1500	2500	5000	10000	20000
Max.Temperature (° C)	1500	1500	1500	1500	1500	1500	1500
온도 균일 성 (° C)	7.5 ±	7.5 ±	7.5 ±	± 10	± 10	± 15	± 15
난방 전력 (kW)	(210)	(360)	(480)	(600)	(900)	1200	1600
궁극적 인 진공 (PA)	(20)	(20)	(20)	(20)	(20)	(20)	(20)
압력 증가 속도 (PA / H)	0.67	0.67	0.67	0.67	0.67	0.67	0.67
상기 파라미터들은 프로세스 요구로 조절할 수 있고, 이들은 수용 표준 세부 사양으로 아니다. 기술 제안서 및 계약서에 명시됩니다.

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