수직 CVD 전기로 (SiC)

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기술
Vertical CVD 튜브 가마 (실리콘 카바이드)은 재료 표면에 산화 방지 코팅을하고 매트릭스 material.

문자를 변경 행 소스로 (MTS) 메틸 트리클로 채택기술적 특징
1. 대부분 사전 제어 기술은 안정된 성막 기류 작은 압력 변동 range.
2 실현 흐름 및 MTS의 압력을 제어하도록 채택된다. 진공 화학 증착로 양호한 밀봉 효과 큰 방진 성능을 보장 특수 설계된 증착 챔버를 사용한다.
3. 다수의 증착 채널 유동장 균일 비 증착 죽은 모서리 큰 증착 surface.
4 보장. 그것은 증착 process.
5 동안 높은 부식성 꼬리 가스 처리, 가연성과 폭발성 가스, 고체 먼지와 저 융점 접착 물질을 가지고있다. 새로운 디자인 안티 부식 진공 장치는 긴 연속 근무 시간과 짧은 maintainence time.

을 보장합니다수직 CVD 튜브로의 옵션 구성
1. 전기로 문 : 나사 상승 타입 / 유압 승강 형 / 수동 상승, 수동 꽉 / 자동 잠금 링 tight
2. 전기로 용기 : 모든 탄소강 / 내부 층 스테인레스 스틸 / 전체 스테인레스 steel
3. 뜨거운 영역을 용광로 소프트 카본 / 소프트 흑연 / 하드 복합체 / CFC
4을 느꼈다 느꼈다. 난방 요소 및 머플 : 정수압 프레스 흑연 /를 눌러 고순도, 고강도 및 고밀도 흑연 / 미세 크기 graphite
5. 공정 가스 시스템 : 볼륨 / 질량 흐름 미터, 수동 밸브 / 자동 밸브, 외국 브랜드 / 중국어 brand
6. 진공 펌프 및 게이지 : 외국 브랜드 / 중국어 brand
7. HMI : 시뮬레이션 화면 / 터치 스크린 / 산업 개인 computer
8. PLC : OMRON / Siemens
9. 온도 컨트롤러 : SHIMADEN / EUROTHERM
10. 열전대 : C 형, S 형, K 형, N type
11. 레코더 : 페이퍼리스 레코더 / 종이 레코더, 외국 브랜드 / 중국어 brand
12. 전기 구성 요소 : CHINT / 슈나이더 / Siemens

수직 CVD 튜브로의 사양

사양. \ 모델	VCVD-0305-SiC를	VCVD-0508- SIC	VCVD-0812- SIC	VCVD-1015- SIC	VCVD-1218- SIC	VCVD-1520- SIC
작업 영역 크기 (D × H) (㎜)	Φ300는 500 ×	Φ500는 800 ×	Φ800는 1200 ×	Φ1000는 1500 ×	Φ1200는 1800 ×	Φ1500는 2000 ×
부하 용량 (㎏)	(50)	(150)	(500)	천	2000	3000
Max.Temperature (° C)	1500	1500	1500	1500	1500	1500
온도 균일 성 (° C)	± 5	± 5	7.5 ±	7.5 ±	± 10	± 10
진공 화학 증착로의 화력 ((킬로와트)	(45)	(90)	(180)	(300)	(420)	(540)
궁극적 인 진공 (PA)	(20)	(20)	(20)	(20)	(20)	(20)
압력 증가 속도 (PA / H)	0.67	0.67	0.67	0.67	0.67	0.67
상기 파라미터들은 프로세스 요구로 조절할 수 있고, 이들은 수용 표준 세부 사양으로 아니다. 기술 제안서 및 계약서에 명시됩니다.

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