수평 CVD의 전기로 (SiC)

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기술
Horizontal CVD 튜브로 (실리콘 카바이드) make 재료 표면 산화 방지 코팅에 공기 소스로 (MTS) 메틸 트리클로로 실란을 사용하고 매트릭스 material.

의 문자를 변경기술적 특징
1. 높은 부식성 테일 가스, 가연성 가스 및 폭발, 고체 먼지와 저 융점 제품은 증착 process.
2 동안 효과적으로 처리 할 수있다. 수평 화학 증착로 양호한 밀봉 효과 및 강한 공해 능력을 보장 특수 설계된 증착 챔버를 사용한다.
3. 대부분의 사전 제어 기술은 안정적인 증착 공기 흐름과 좁은 압력 변동 range.
4을 실현, 정밀 제어로 MTS 흐름과 압력을 채용하고 있습니다. 새로운 디자인 안티 부식 진공 장치는 긴 연속 작업 기간과 낮은 maintainence의 rate.
5을 보장합니다. 다수의 증착 채널 유동장 균일 비 증착 죽은 모서리 나은 증착 effect.

달성수평 CVD로의 옵션 구성
1. 전기로 문 : 힝 전환 형 / 트롤리 타입, 수동 꽉 / 자동 잠금 링 tight
2. 전기로 용기 : 모든 탄소강 / 내부 층 스테인레스 스틸 / 전체 스테인레스 steel
3. 뜨거운 영역을 용광로 소프트 카본 / 소프트 흑연 / 하드 복합체 / CFC
4을 느꼈다 느꼈다. 난방 요소 및 머플 : 정수압 프레스 흑연 /를 눌러 고순도, 고강도 및 고밀도 흑연 / 미세 크기 graphite
5. 공정 가스 시스템 : 볼륨 / 질량 흐름 미터, 수동 밸브 / 자동 밸브, 외국 브랜드 / 중국어 brand
6. 진공 펌프 및 게이지 : 외국 브랜드 / 중국어 brand
7. HMI : 시뮬레이션 화면 / 터치 스크린 / 산업 개인 computer
8. PLC : OMRON / Siemens
9. 온도 컨트롤러 : SHIMADEN / EUROTHERM
10. 열전대 : C 형, S 형, K 형, N type
11. 레코더 : 페이퍼리스 레코더 / 종이 레코더, 외국 브랜드 / 중국어 brand
12. 전기 구성 요소 : CHINT / 슈나이더 / Siemens
13. 로드 트럭 : 롤러 타입 / 포크 형 / 접이식 장거리 운전 type

수평 CVD 튜브로의 사양

사양. \ 모델	HCVD-060609-C	HCVD-080812-C	HCVD-101015-C	HCVD-121225-C	HCVD-151530-C	HCVD-252035-C	HCVD-252550-C
작업 영역 크기 (W × H × L) (㎜)	600 × 600 × 900	× 800 × 1200 (800)	× 100 × 1500 1000	× 200 × 2500 1200	1500 × 1500 × 3000	2500 × 2000 × 3500	2500 × 2500 × 5000
부하 용량 (㎏)	(300)	(800)	1500	2500	5000	10000	20000
Max.Temperature (° C)	1500	1500	1500	1500	1500	1500	1500
온도 균일 성 (° C)	7.5 ±	7.5 ±	7.5 ±	± 10	± 10	± 15	± 15
수평 화학 증착 노의 가열 전력 (kW)	(210)	(360)	(480)	(600)	(900)	1200	1800
궁극적 인 진공 (PA)	(20)	(20)	(20)	(20)	(20)	(20)	(20)
압력 증가 속도 (PA / H)	0.67	0.67	0.67	0.67	0.67	0.67	0.67
상기 파라미터들은 프로세스 요구로 조절할 수 있고, 이들은 수용 표준 세부 사양으로 아니다. 기술 제안서 및 계약서에 명시됩니다.

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