Beschrijving Horizontal CVD buisoven (Silicon Carbide) gebruikt methyltrichloorsilaan (MTS) als de lucht bron make materiaal oxidatie coating en de karakters van matrix material.
veranderenTechnische Kenmerken 1. Hoge corrosieve restgas, brandbare en explosie gas, vaste stof en laag smeltpunt product kan effectief worden behandeld tijdens de depositie process. 2. Horizontale chemical vapor deposition oven maakt gebruik van speciaal ontworpen afzettingskamer, die goed afdichtende werking en sterke vervuiling vermogen verzekert. 3. De meest geavanceerde regeltechniek wordt goedgekeurd om een nauwkeurige controle van de MTS flow en druk, het realiseren van een stabiele afzetting luchtstroom en smalle drukschommeling range. 4. Het nieuwe ontwerp anti corrosie vacuüm unit zorgt voor een lange ononderbroken werkperiode en lage handhaving rate. 5. Meerdere depositie kanalen te bereiken stroom veld uniformiteit, non-depositie dode hoek en een betere afzetting effect.
Optionele configuratie van Horizontaal CVD Furnace 1. Ovendeur: Hing draaien soort / trolley type Handmatig strakke / Auto lock-ring tight 2. Oven vaartuig: Alle koolstofstaal / Inner layer roestvrij staal / Total roestvrij steel 3. Oven warme zone: Soft koolstof voelde / Soft grafiet voelde / Hard samengestelde voelde / CFC 4. Verwarmingselement en dempen: isostatische pers grafiet / Pers hoge zuiverheid, hoge sterkte en hoge dichtheid grafiet / fijne grootte graphite 5. Proces gassysteem: Volume / massa debietmeter, Manual klep / Auto ventiel, Buitenlandse merk / Chinese brand 6. Vacuümpomp en manometer: Buitenlandse merk / Chinese brand 7. HMI: Simulatie scherm / aanraakscherm / Industrial persoonlijke computer 8. PLC: OMRON / Siemens 9. Temperatuur controller: SHIMADEN / EUROTHERM 10. Thermokoppel: type C, S-type, de K-type, N type 11. Recorder: Papierloze recorder / papier recorder, Buitenlandse merk / Chinese brand 12. Elektrische componenten: CHINT / Schneider / Siemens 13. Lading vrachtwagen: soort roller / Vork soort / gevouwen lange afstand rijden type
Specificaties van Horizontaal CVD Tube Furnace
Spec. \ Model
HCVD-060609-C
HCVD-080812-C
HCVD-101015-C
HCVD-121225-C
HCVD-151530-C
HCVD-252035-C
HCVD-252550-C
Werken Zone Grootte (B x H x L) (mm)
600 × 600 × 900
800 × 800 × 1200
1000 × 100 × 1500
1200 × 200 × 2500
1500 × 1500 × 3000
2500 × 2000 × 3500
2500 × 2500 × 5000
Laadvermogen (kg)
300
800
1500
2500
5000
10000
20000
Max.Temperatuur (° C)
1500
1500
1500
1500
1500
1500
1500
Uniformiteit temperatuur (° C)
± 7.5
± 7.5
± 7.5
± 10
± 10
± 15
± 15
Verwarming Kracht van horizontale chemische damp depositie oven (kW)
210
360
480
600
900
1200
1800
Ultimate Vacuum (Pa)
20
20
20
20
20
20
20
Druk verhogen Rate (Pa / h)
0.67
0.67
0.67
0.67
0.67
0.67
0.67
De bovenstaande parameters kunnen worden aangepast aan de procesvereisten, zijn ze niet accepteert standaard, de detail spec. zal worden vermeld in het technische voorstel en afspraken.
Inquiry Form
gerelateerde producten
Horizontale Single Kamer Vacuum High Pressure Gas Afschrikken Furnace Vacuüm hoge druk gas blussen oven aangevraagd gas blussen van materialen zoals gereedschapsstaal, sterven staal, met hoge snelheid staal, etc. Het heeft geen speciale afmeting en vorm vereist voor de componenten. De onderdelen voorzien van kleine vervorming en goede koeling effect....
Horizontale Twin Kamer Vacuum Oil Afschrikken Gas Koelen Furnace Het vacuüm olie blussen oven is geschikt voor het vacuüm olie blussen van materialen zoals gelegeerd staal, met staal, verenstaal, sterven staal, met hoge snelheid staal, enz Horizontaal twin kamer olie blussen oven kan ook toegepast op de vergrijzing en gas koelproces voor de bovengenoemde material...
