คำอธิบาย
Horizontal เตาหลอด CVD (ซิลิคอนคาร์ไบด์) ใช้ methyltrichlorosilane (MTS) เป็นแหล่งอากาศต่อการเกิดออกซิเดชันพื้นผิววัสดุ make เคลือบทนและการเปลี่ยนแปลงตัวละครของเมทริกซ์ material.
คุณสมบัติทางเทคนิค
1 ก๊าซที่มีฤทธิ์กัดกร่อนสูงหางก๊าซที่เผาไหม้และการระเบิดฝุ่นของแข็งและผลิตภัณฑ์จุดหลอมเหลวต่ำสามารถรักษาได้อย่างมีประสิทธิภาพในช่วง process.
2 การสะสม เตาไอสารเคมีสะสมแนวนอนใช้ห้องได้รับการออกแบบเป็นพิเศษให้การของพยานซึ่งมั่นใจผลการปิดผนึกที่ดีและความสามารถที่แข็งแกร่งมลภาวะ
3 เทคโนโลยีการควบคุมล่วงหน้าส่วนใหญ่ถูกนำมาใช้เพื่อการควบคุมที่แม่นยำการไหลของเอ็มทีเอและความดันตระหนักถึงการไหลของอากาศให้การของพยานที่มีเสถียรภาพและความผันผวนของความดันแคบ range.
4 กัดกร่อนต่อต้านการออกแบบใหม่เพื่อให้แน่ใจว่าหน่วยสูญญากาศในการทำงานอย่างต่อเนื่องเป็นระยะเวลานานและการบำรุงรักษาต่ำ rate.
5 หลายช่องการสะสมบรรลุความสม่ำเสมอของสนามการไหลที่ไม่ใช่การสะสมมุมที่ตายแล้วและทับถมดีกว่า effect.
การกำหนดค่าตัวเลือกของ CVD เตาแนวนอน
1 ประตูเตา: Hing เปลี่ยนประเภท / ชนิดรถเข็น, คู่มือแน่น / ออโต้ล็อคแหวน tight
2 เรือเตา: เหล็กคาร์บอนทั้งหมด / ภายในชั้นสแตนเลส / รวม steel
3 สแตนเลส เตาโซนร้อน: คาร์บอนซอฟท์รู้สึก / ไฟท์ซอฟท์รู้สึก / ฮาร์ดคอมโพสิตรู้สึก / CFC
4 องค์ประกอบความร้อนและอุด: Isostatic ไฟท์กด / กดความบริสุทธิ์สูงความแข็งแรงสูงและความหนาแน่นสูงกราไฟท์ / graphite
5 ปรับขนาด ขั้นตอนของระบบก๊าซ: ปริมาณ / มวลการไหลเมตรวาล์วคู่มือ / วาล์วอัตโนมัติแบรนด์ต่างประเทศ / จีน brand
6 ปั๊มดูดฝุ่นและวัด: แบรนด์ต่างประเทศ / brand
7 จีน HMI: หน้าจอจำลอง / หน้าจอสัมผัส / อุตสาหกรรม computer
8 ส่วนบุคคล PLC: OMRON / Siemens
9 ควบคุมอุณหภูมิ: SHIMADEN / EUROTHERM
10 Thermocouple: ชนิด C ประเภท S, ประเภท K, N type
11 บันทึก: บันทึกไร้กระดาษ / เครื่องบันทึกกระดาษแบรนด์ต่างประเทศ / brand
12 จีน ชิ้นส่วนอุปกรณ์ไฟฟ้า: CHINT / ชไนเดอ / Siemens
13 รถบรรทุกโหลด: ชนิดลูกกลิ้ง / ประเภทส้อม / ระยะทางยาวพับขับรถ type
ข้อมูลจำเพาะของเตาหลอด CVD แนวนอน
| Spec. \ รุ่น | HCVD-060609-C | HCVD-080812-C | HCVD-101015-C | HCVD-121225-C | HCVD-151530-C | HCVD-252035-C | HCVD-252550-C |
| โซนการทำงานขนาด (กว้าง×สูง× L) (mm) | 600 × 600 × 900 | 800 × 800 × 1200 | 1000 × 100 × 1500 | 1200 × 200 × 2500 | 1500 × 1500 × 3000 | 2500 × 2000 × 3500 | 2500 × 2500 × 5000 |
| โหลดความจุ (กิโลกรัม) | 300 | 800 | 1500 | 2500 | 5000 | 10000 | 20000 |
| Max.Temperature (° C) | 1500 | 1500 | 1500 | 1500 | 1500 | 1500 | 1500 |
| สม่ำเสมออุณหภูมิ (° C) | ± 7.5 | ± 7.5 | ± 7.5 | ± 10 | ± 10 | ± 15 | ± 15 |
| พลังงานความร้อนของเตาแนวนอนไอสารเคมีสะสม (กิโลวัตต์) | 210 | 360 | 480 | 600 | 900 | 1200 | 1800 |
| สูญญากาศที่ดีที่สุด (PA) | 20 | 20 | 20 | 20 | 20 | 20 | 20 |
| ความดันอัตราการเพิ่มขึ้น (Pa / เอช) | 0.67 | 0.67 | 0.67 | 0.67 | 0.67 | 0.67 | 0.67 |
| พารามิเตอร์ดังกล่าวข้างต้นสามารถปรับเปลี่ยนได้ตามความต้องการของการที่พวกเขาไม่ได้รับการยอมรับเป็นมาตรฐานข้อมูลจำเพาะรายละเอียด จะมีการระบุไว้ในข้อเสนอด้านเทคนิคและข้อตกลง |
Inquiry Form
