คำอธิบาย
Vertical เตาหลอด CVD (ซิลิคอนคาร์ไบด์) adopts methyltrichlorosilane (MTS) เป็นแหล่งที่มาของอากาศที่จะทำให้พื้นผิวของวัสดุที่ทนต่อการเกิดออกซิเดชันเคลือบและการเปลี่ยนแปลงตัวละครของเมทริกซ์ material.
คุณสมบัติทางเทคนิค
1 เทคโนโลยีการควบคุมล่วงหน้าส่วนใหญ่ถูกนำมาใช้เพื่อควบคุมการไหลและความดันของเอ็มทีเอตระหนักถึงการไหลของอากาศให้การของพยานที่มีเสถียรภาพและความผันผวนของความดันขนาดเล็ก range.
2 เครื่องดูดฝุ่นเตาไอสารเคมีสะสมทับถมใช้ห้องได้รับการออกแบบพิเศษซึ่งมั่นใจว่าผลการปิดผนึกที่ดีและมีประสิทธิภาพการป้องกันการปนเปื้อนที่ดี
3 ช่องทับถมหลายมั่นใจสม่ำเสมอสนามไหลตายมุมที่ไม่ใช่การสะสมและการสะสม surface.
4 ดี แต่ก็มีการรักษาก๊าซที่มีฤทธิ์กัดกร่อนสูงหางก๊าซไวไฟและวัตถุระเบิดฝุ่นของแข็งและจุดหลอมเหลวต่ำวัสดุเหนียวในช่วง process.
5 สะสม กัดกร่อนต่อต้านการออกแบบใหม่เพื่อให้แน่ใจว่าหน่วยสูญญากาศอย่างต่อเนื่องชั่วโมงการทำงานที่ยาวนานและการบำรุงรักษา time.
สั้นการกำหนดค่าตัวเลือกของเตาหลอด CVD แนวตั้ง
1 ประตูเตา: สกรูชนิดยกระดับ / ประเภทสูงไฮดรอลิ / สูงคู่มือ, คู่มือแน่น / ออโต้ล็อคแหวน tight
2 เรือเตา: เหล็กคาร์บอนทั้งหมด / ภายในชั้นสแตนเลส / รวม steel
3 สแตนเลส เตาโซนร้อน: คาร์บอนซอฟท์รู้สึก / ไฟท์ซอฟท์รู้สึก / ฮาร์ดคอมโพสิตรู้สึก / CFC
4 องค์ประกอบความร้อนและอุด: Isostatic ไฟท์กด / กดความบริสุทธิ์สูงความแข็งแรงสูงและความหนาแน่นสูงกราไฟท์ / graphite
5 ปรับขนาด ขั้นตอนของระบบก๊าซ: ปริมาณ / มวลการไหลเมตรวาล์วคู่มือ / วาล์วอัตโนมัติแบรนด์ต่างประเทศ / จีน brand
6 ปั๊มดูดฝุ่นและวัด: แบรนด์ต่างประเทศ / brand
7 จีน HMI: หน้าจอจำลอง / หน้าจอสัมผัส / อุตสาหกรรม computer
8 ส่วนบุคคล PLC: OMRON / Siemens
9 ควบคุมอุณหภูมิ: SHIMADEN / EUROTHERM
10 Thermocouple: ชนิด C ประเภท S, ประเภท K, N type
11 บันทึก: บันทึกไร้กระดาษ / เครื่องบันทึกกระดาษแบรนด์ต่างประเทศ / brand
12 จีน ชิ้นส่วนอุปกรณ์ไฟฟ้า: CHINT / ชไนเดอ / Siemens
ข้อมูลจำเพาะของเตาหลอด CVD แนวตั้ง
| Spec. \ รุ่น | VCVD-0305-SIC | VCVD-0508- SIC | VCVD-0812- SIC | VCVD-1015- SIC | VCVD-1218- SIC | VCVD-1520- SIC |
| โซนการทำงานขนาด (D × H) (mm) | Φ300× 500 | Φ500× 800 | Φ800× 1200 | Φ1000× 1500 | Φ1200× 1800 | Φ1500× 2000 |
| โหลดความจุ (กิโลกรัม) | 50 | 150 | 500 | 1000 | 2000 | 3000 |
| Max.Temperature (° C) | 1500 | 1500 | 1500 | 1500 | 1500 | 1500 |
| สม่ำเสมออุณหภูมิ (° C) | ± 5 | ± 5 | ± 7.5 | ± 7.5 | ± 10 | ± 10 |
| พลังงานความร้อนของเตาสูญญากาศไอสารเคมีสะสม ((กิโลวัตต์) | 45 | 90 | 180 | 300 | 420 | 540 |
| สูญญากาศที่ดีที่สุด (PA) | 20 | 20 | 20 | 20 | 20 | 20 |
| ความดันอัตราการเพิ่มขึ้น (Pa / เอช) | 0.67 | 0.67 | 0.67 | 0.67 | 0.67 | 0.67 |
| พารามิเตอร์ดังกล่าวข้างต้นสามารถปรับเปลี่ยนได้ตามความต้องการของการที่พวกเขาไม่ได้รับการยอมรับเป็นมาตรฐานข้อมูลจำเพาะรายละเอียด จะมีการระบุไว้ในข้อเสนอด้านเทคนิคและข้อตกลง |
Inquiry Form
