คำอธิบาย
Vertical เตา CVD (Carbon) ใช้สำหรับ CVD วัสดุผสมที่ใช้ก๊าซไฮโดรคาร์บอน (เช่น C3H8) เป็นแหล่งคาร์บอน การทำงานใน บริษัท ซีวีดีและการรักษา CVI สำหรับวัสดุคาร์บอน
คุณสมบัติทางเทคนิค
1 ใช้โซนควบคุมอุณหภูมิที่แตกต่างกันตามขนาดของเขตการทำงานมั่นใจ uniformity.
2 อุณหภูมิที่ดี เทคโนโลยีการควบคุมล่วงหน้าส่วนใหญ่ถูกนำมาใช้เพื่อควบคุมการไหลและความดันของเอ็มทีเอตระหนักถึงการไหลของอากาศให้การของพยานที่มีเสถียรภาพและความผันผวนของความดันขนาดเล็ก range.
3 ที่ออกแบบใหม่ป้องกันการกัดกร่อนหน่วยสูญญากาศเพื่อให้แน่ใจว่าการทำงานอย่างต่อเนื่องเป็นระยะเวลานานและการบำรุงรักษาต่ำ rate.
4 สูญญากาศในแนวตั้งเตาท่อคาร์บอนใช้ห้องได้รับการออกแบบเป็นพิเศษให้การของพยานซึ่งมั่นใจผลการปิดผนึกที่ดีและมีประสิทธิภาพการป้องกันการปนเปื้อนที่ดี
5 ช่องทับถมหลายมั่นใจสม่ำเสมอสนามไหลตายมุมที่ไม่ใช่การสะสมและการสะสม surface.
6 ดี ก๊าซที่มีฤทธิ์กัดกร่อนสูงหางก๊าซที่เผาไหม้และการระเบิดฝุ่นของแข็งและผลิตภัณฑ์จุดหลอมเหลวต่ำสามารถรักษาได้อย่างมีประสิทธิภาพในกระบวนการของการ deposition.
การกำหนดค่าตัวเลือกของ CVD เตาแนวตั้ง
1 ประตูเตา: สกรูชนิดยกระดับ / ประเภทสูงไฮดรอลิ / สูงคู่มือ, คู่มือแน่น / ออโต้ล็อคแหวน tight
2 เรือเตา: เหล็กคาร์บอนทั้งหมด / ภายในชั้นสแตนเลส / รวม steel
3 สแตนเลส เตาโซนร้อน: คาร์บอนซอฟท์รู้สึก / ไฟท์ซอฟท์รู้สึก / ฮาร์ดคอมโพสิตรู้สึก / CFC
4 องค์ประกอบความร้อนและอุด: Isostatic ไฟท์กด / กดความบริสุทธิ์สูงความแข็งแรงสูงและความหนาแน่นสูงกราไฟท์ / graphite
5 ปรับขนาด ขั้นตอนของระบบก๊าซ: ปริมาณ / มวลการไหลเมตรวาล์วคู่มือ / วาล์วอัตโนมัติแบรนด์ต่างประเทศ / จีน brand
6 ปั๊มดูดฝุ่นและวัด: แบรนด์ต่างประเทศ / brand
7 จีน HMI: หน้าจอจำลอง / หน้าจอสัมผัส / อุตสาหกรรม computer
8 ส่วนบุคคล PLC: OMRON / Siemens
9 ควบคุมอุณหภูมิ: SHIMADEN / EUROTHERM
10 Thermocouple: ชนิด C ประเภท S, ประเภท K, N type
11 บันทึก: บันทึกไร้กระดาษ / เครื่องบันทึกกระดาษแบรนด์ต่างประเทศ / brand
12 จีน ชิ้นส่วนอุปกรณ์ไฟฟ้า: CHINT / ชไนเดอ / Siemens
ข้อมูลจำเพาะของ CVD เตาแนวตั้ง
Spec. \ รุ่น | VCVD-0305-C | VCVD-0508-C | VCVD-0812-C | VCVD-1015-C | VCVD-1218-C | VCVD-1520-C |
โซนการทำงานขนาด (D × H) (mm) | Φ300× 500 | Φ500× 800 | Φ800× 1200 | Φ1000× 1500 | Φ1200× 1800 | Φ1500× 2000 |
โหลดความจุ (กิโลกรัม) | 50 | 150 | 500 | 1000 | 2000 | 3000 |
Max.Temperature (° C) | 1500 | 1500 | 1500 | 1500 | 1500 | 1500 |
สม่ำเสมออุณหภูมิ (° C) | ± 5 | ± 5 | ± 7.5 | ± 7.5 | ± 10 | ± 10 |
พลังงานความร้อนของเตาสูญญากาศในแนวตั้งหลอดคาร์บอน (กิโลวัตต์) | 45 | 90 | 180 | 300 | 420 | 540 |
สูญญากาศที่ดีที่สุด (PA) | 20 | 20 | 20 | 20 | 20 | 20 |
อัตราการเพิ่มขึ้นความดัน (Pa / เอช) | 0.67 | 0.67 | 0.67 | 0.67 | 0.67 | 0.67 |
ข้อกำหนดดังกล่าวข้างต้นสามารถปรับเปลี่ยนได้ตามความต้องการของการที่พวกเขาไม่ได้รับการยอมรับเป็นมาตรฐานข้อมูลจำเพาะรายละเอียด จะมีการระบุไว้ในข้อเสนอด้านเทคนิคและข้อตกลง |
Inquiry Form