Ngang CVD Furnace (SiC)

Miêu tả
Horizontal CVD ống lò (Silicon Carbide) sử dụng methyltrichlorosilane (MTS) như là nguồn không khí lớp phủ chống make  liệu oxy hóa bề mặt và thay đổi ký tự của ma trận material.

Đặc tính kỹ thuật
1. Cao ăn mòn đuôi khí, khí dễ cháy, nổ, bụi rắn và sản phẩm nóng chảy điểm thấp có thể được điều trị hiệu quả trong quá trình lắng đọng process.
2. Ngang lò lắng đọng hơi hóa chất sử dụng đặc biệt được thiết kế buồng lắng đọng, trong đó đảm bảo hiệu lực niêm phong tốt và khả năng chống ô nhiễm mạnh.
3. Các công nghệ điều khiển tiên tiến nhất được áp dụng để điều khiển chính xác dòng chảy MTS và áp lực, nhận luồng không khí lắng đọng ổn định và biến động hẹp áp range.
4. Đơn vị thiết kế chân chống ăn mòn mới đảm bảo thời gian làm việc liên tục lâu dài và bảo trì rate.
5 thấp. Nhiều kênh lắng đọng đạt được dòng chảy đồng nhất, không lắng đọng góc chết và lắng đọng hơn effect.

Lựa chọn cấu hình của bệnh tim mạch ngang Furnace
1. Furnace cửa: Hing chuyển kiểu gõ / xe đẩy, tay chặt chẽ / Auto lock-ring tight
2. Tàu lò: Tất cả thép carbon lớp / Inner thép không gỉ / Tổng steel
3 không gỉ. Lò khu vực nóng: carbon mềm cảm thấy / Soft graphite cảm thấy / Hard hợp cảm thấy / CFC
4. Yếu tố làm nóng và bóp nghẹt: graphite bấm đẳng tĩnh / Press độ tinh khiết cao, độ bền cao và mật độ cao graphite / mỹ kích thước graphite
5. Hệ thống xử lý khí: Khối lượng / Khối lượng dòng chảy mét, van tay / van tự động, Ngoại thương hiệu / Trung Quốc brand
6. Bơm hút chân không và máy đo: thương hiệu nước ngoài / brand
7 Trung Quốc. HMI: màn hình mô phỏng / Màn hình cảm ứng / công nghiệp computer
8 cá nhân. PLC: OMRON / Siemens
9. Điều khiển nhiệt độ: SHIMADEN / EUROTHERM
10. Cặp nhiệt: loại C, S loại, kiểu K, N type
11. Ghi: không cần giấy tờ ghi recorder / giấy, nhãn hiệu nước ngoài / brand
12 Trung Quốc. Thành phần điện: CHINT / Schneider / Siemens
13. Xe tải: loại con lăn / loại Fork / Folded đường dài lái xe type

Thông số kỹ thuật của Horizontal CVD ống lò

Spec. \ Mẫu	HCVD-060.609-C	HCVD-080.812-C	HCVD-101.015-C	HCVD-121.225-C	HCVD-151.530-C	HCVD-252.035-C	HCVD-252.550-C
Khu làm việc Kích thước (W × H × L) (mm)	600 × 600 × 900	800 × 800 × 1200	1000 × 100 × 1500	1200 × 200 × 2500	1500 × 1500 × 3000	2500 × 2000 × 3500	2500 × 2500 × 5000
Công suất tải (kg)	300	800	1500	2500	5000	10000	20000
Max.Temperature (° C)	1500	1500	1500	1500	1500	1500	1500
Nhiệt độ đồng nhất (° C)	± 7,5	± 7,5	± 7,5	± 10	± 10	± 15	± 15
Sưởi Power of ngang lò lắng đọng hơi hóa học (kW)	210	360	480	600	900	1200	1800
Vacuum Ultimate (Pa)	20	20	20	20	20	20	20
Tăng tỷ lệ áp suất (Pa / h)	0.67	0.67	0.67	0.67	0.67	0.67	0.67
Các thông số trên có thể được điều chỉnh theo yêu cầu của quá trình, họ không phải là tiêu chuẩn chấp nhận, spec chi tiết. sẽ được nêu trong đề xuất kỹ thuật và các thỏa thuận.