Dọc CVD Furnace (SiC)

Miêu tả
Vertical CVD ống lò (Silicon Carbide) thông qua methyltrichlorosilane (MTS) như là nguồn khí để thực hiện lớp phủ chống oxy hóa bề mặt vật liệu và thay đổi ký tự của ma trận material.
 
Đặc tính kỹ thuật
1. Các công nghệ điều khiển tiên tiến nhất được áp dụng để kiểm soát lưu lượng và áp lực của MTS, nhận luồng không khí lắng đọng ổn định và nhỏ range.
2 biến áp. Lò chân không lắng đọng hơi hóa chất sử dụng đặc biệt được thiết kế buồng lắng đọng, trong đó đảm bảo hiệu lực niêm phong tốt và khả năng bảo vệ ô nhiễm lớn.
3. Nhiều kênh lắng đọng đảm bảo dòng chảy đồng nhất của trường, góc chết không lắng đọng và surface.
4 lắng đọng rất lớn. Nó có điều trị cho đuôi khí có tính ăn mòn cao, khí dễ cháy, dễ nổ, bụi rắn và điểm nóng chảy vật liệu dính thấp trong process.
5 lắng đọng. Đơn vị thiết kế chân chống ăn mòn mới đảm bảo thời gian làm việc liên tục lâu dài và bảo trì ngắn time.

Lựa chọn cấu hình của Vertical CVD ống lò
1. Furnace cửa: vít loại cao / loại cao thủy lực / bằng tay cao, tay chặt chẽ / Auto lock-ring tight
2. Tàu lò: Tất cả thép carbon lớp / Inner thép không gỉ / Tổng steel
3 không gỉ. Lò khu vực nóng: carbon mềm cảm thấy / Soft graphite cảm thấy / Hard hợp cảm thấy / CFC
4. Yếu tố làm nóng và bóp nghẹt: graphite bấm đẳng tĩnh / Press độ tinh khiết cao, độ bền cao và mật độ cao graphite / mỹ kích thước graphite
5. Hệ thống xử lý khí: Khối lượng / Khối lượng dòng chảy mét, van tay / van tự động, Ngoại thương hiệu / Trung Quốc brand
6. Bơm hút chân không và máy đo: thương hiệu nước ngoài / brand
7 Trung Quốc. HMI: màn hình mô phỏng / Màn hình cảm ứng / công nghiệp computer
8 cá nhân. PLC: OMRON / Siemens
9. Điều khiển nhiệt độ: SHIMADEN / EUROTHERM
10. Cặp nhiệt: loại C, S loại, kiểu K, N type
11. Ghi: không cần giấy tờ ghi recorder / giấy, nhãn hiệu nước ngoài / brand
12 Trung Quốc. Thành phần điện: CHINT / Schneider / Siemens

Thông số kỹ thuật của Vertical CVD ống lò

Spec. \ Mẫu	VCVD-0305-SIC	VCVD-0508- SIC	VCVD-0812- SIC	VCVD-1015- SIC	VCVD-1218- SIC	VCVD-1520- SIC
Khu làm việc Kích thước (D x H) (mm)	Φ300 × 500	Φ500 × 800	Φ800 × 1200	Φ1000 × 1500	Φ1200 × 1800	Φ1500 × 2000
Công suất tải (kg)	50	150	500	1000	2000	3000
Max.Temperature (° C)	1500	1500	1500	1500	1500	1500
Nhiệt độ đồng nhất (° C)	± 5	± 5	± 7,5	± 7,5	± 10	± 10
Sưởi Sức mạnh của chân không lò lắng đọng hơi hóa học ((kW)	45	90	180	300	420	540
Vacuum Ultimate (Pa)	20	20	20	20	20	20
Tăng tỷ lệ áp suất (Pa / h)	0.67	0.67	0.67	0.67	0.67	0.67
Các thông số trên có thể được điều chỉnh theo yêu cầu của quá trình, họ không phải là tiêu chuẩn chấp nhận, spec chi tiết. sẽ được nêu trong đề xuất kỹ thuật và các thỏa thuận.