Dọc CVD Furnace (C)

Miêu tả
Vertical CVD lò (Carbon) được sử dụng cho bệnh tim mạch vật liệu composite được sử dụng khí hydrocarbon (như C3H8) như nguồn carbon. Nó hoạt động trên tim mạch và điều trị CVI cho vật liệu carbon.

Đặc tính kỹ thuật
1. Sử dụng những vùng kiểm soát nhiệt độ khác nhau tùy theo kích thước khu vực làm việc, đảm bảo uniformity.
2 nhiệt độ lớn. Các công nghệ điều khiển tiên tiến nhất được áp dụng để kiểm soát lưu lượng và áp lực của MTS, nhận luồng không khí lắng đọng ổn định và nhỏ range.
3 biến áp. Các thiết kế mới chống ăn mòn đơn vị chân không đảm bảo thời gian làm việc liên tục lâu dài và bảo trì rate.
4 thấp. Các lò ống carbon chân không thẳng đứng sử dụng đặc biệt được thiết kế buồng lắng đọng, trong đó đảm bảo hiệu lực niêm phong tốt và khả năng bảo vệ ô nhiễm lớn.
5. Nhiều kênh lắng đọng đảm bảo dòng chảy đồng nhất của trường, góc chết không lắng đọng và surface.
6 lắng đọng rất lớn. Cao ăn mòn đuôi khí, khí dễ cháy, nổ, bụi rắn và sản phẩm nóng chảy điểm thấp có thể được điều trị hiệu quả trong quá trình deposition.

Lựa chọn cấu hình của Vertical CVD Furnace 
1. Furnace cửa: vít loại cao / loại cao thủy lực / bằng tay cao, tay chặt chẽ / Auto lock-ring tight
2. Tàu lò: Tất cả thép carbon lớp / Inner thép không gỉ / Tổng steel
3 không gỉ. Lò khu vực nóng: carbon mềm cảm thấy / Soft graphite cảm thấy / Hard hợp cảm thấy / CFC
4. Yếu tố làm nóng và bóp nghẹt: graphite bấm đẳng tĩnh / Press độ tinh khiết cao, độ bền cao và mật độ cao graphite / mỹ kích thước graphite
5. Hệ thống xử lý khí: Khối lượng / Khối lượng dòng chảy mét, van tay / van tự động, Ngoại thương hiệu / Trung Quốc brand
6. Bơm hút chân không và máy đo: thương hiệu nước ngoài / brand
7 Trung Quốc. HMI: màn hình mô phỏng / Màn hình cảm ứng / công nghiệp computer
8 cá nhân. PLC: OMRON / Siemens
9. Điều khiển nhiệt độ: SHIMADEN / EUROTHERM
10. Cặp nhiệt: loại C, S loại, kiểu K, N type
11. Ghi: không cần giấy tờ ghi recorder / giấy, nhãn hiệu nước ngoài / brand
12 Trung Quốc. Thành phần điện: CHINT / Schneider / Siemens

Thông số kỹ thuật của Vertical CVD Furnace

Spec. \ Mẫu	VCVD-0305-C	VCVD-0508-C	VCVD-0812-C	VCVD-1015-C	VCVD-1218-C	VCVD-1520-C
Khu làm việc Kích thước (D x H) (mm)	Φ300 × 500	Φ500 × 800	Φ800 × 1200	Φ1000 × 1500	Φ1200 × 1800	Φ1500 × 2000
Công suất tải (kg)	50	150	500	1000	2000	3000
Max.Temperature (° C)	1500	1500	1500	1500	1500	1500
Nhiệt độ đồng nhất (° C)	± 5	± 5	± 7,5	± 7,5	± 10	± 10
Sưởi sức mạnh của chân không thẳng đứng lò ống carbon (kW)	45	90	180	300	420	540
Vacuum Ultimate (Pa)	20	20	20	20	20	20
Tỷ Rise áp lực (Pa / h)	0.67	0.67	0.67	0.67	0.67	0.67
Các thông số kỹ thuật trên có thể được điều chỉnh theo yêu cầu của quá trình, họ không phải là tiêu chuẩn chấp nhận, spec chi tiết. sẽ được nêu trong đề xuất kỹ thuật và các thỏa thuận.