Description Horizontal CVD four tubulaire (carbure de silicium) utilise méthyltrichlorosilane (MTS) comme source d'air à revêtement résistant make d'oxydation de surface du matériau et changer les caractères de la matrice material.
Caractéristiques techniques 1. Corrosive Haute gaz de queue, gaz combustible et d'explosion, de la poussière solide et le produit de bas point de fusion peuvent être traités efficacement pendant le dépôt process. 2. Dépôt chimique en phase vapeur horizontale four utilise chambre de dépôt conçu spécial, qui assure un bon effet d'étanchéité et la capacité antipollution forte. 3. La technologie de contrôle la plus avancée est adopté pour un contrôle précis du débit et de la pression MTS, réalisant stable air de dépôt et étroite de fluctuation de pression range. 4. La nouvelle unité de conception anti-vide à la corrosion assure une longue période de travail continu et à faible rate. 5 de maintainence. Plusieurs canaux de dépôt à atteindre l'uniformité de champ d'écoulement, non-dépôt coin mort et mieux dépôt effect.
Configuration optionnelle de Horizontal CVD 1. Porte four: Hing tourner Type / type de chariot, Manuel serré / Auto lock-anneau tight 2. Récipient de four: Tout acier au carbone / couche intérieure en acier inoxydable / steel 3 inoxydable total. Fourneau zone chaude: carbone feutre mou / graphite feutre mou / dur de feutre composite / CFC 4. Élément de chauffage et le moufle graphite isostatique presse / Communiqués de haute pureté, de haute résistance et à haute densité de graphite / fine taille graphite 5. Système de traitement de gaz: Volume / Masse débitmètre, vanne manuelle / vanne automatique, marque / brand 6 chinois des Affaires étrangères. La pompe à vide et la jauge: marque étrangère / brand 7 chinois. HMI: écran de simulation / écran tactile / industriel computer 8 personnelle. PLC: OMRON / Siemens 9. Régulateur de température: SHIMADEN / EUROTHERM 10. Thermocouple: type C, de type S, de type K, N type 11. Enregistreur: Enregistreur sans papier / enregistreur papier, marque étrangère / brand 12 chinois. Composants électriques: CHINT / Schneider / Siemens 13. Camion de charge: Type de rouleau / Type Fork / longue distance Plié conduite type
Spécifications de Horizontal CVD Tube Furnace
Spec. \ Modèle
HCVD-C-060609
HCVD-C-080812
HCVD-101015-C
HCVD-121225-C
HCVD-151530-C
HCVD-252035-C
HCVD-C-252550
Zone de travail Dimensions (L x H x L) (mm)
600 × 600 × 900
800 × 800 × 1200
1000 × 100 × 1500
1200 × 200 × 2500
1500 × 1500 × 3000
2500 × 2000 × 3500
2500 × 2500 × 5000
Capacité de charge (kg)
300
800
1500
2500
5000
10000
20000
Max.Temperature (° C)
1500
1500
1500
1500
1500
1500
1500
Température de l'homogénéité (° C)
± 7,5
± 7,5
± 7,5
± 10
± 10
± 15
± 15
Puissance de chauffage du four horizontal de dépôt chimique en phase vapeur (kW)
210
360
480
600
900
1,200
1,800
Vide final (Pa)
20
20
20
20
20
20
20
Augmenter la pression Taux (Pa / h)
0,67
0,67
0,67
0,67
0,67
0,67
0,67
Les paramètres ci-dessus peuvent être adaptées aux exigences du procédé, ils ne sont pas en tant que norme d'acceptation, le détail spec. sera indiqué dans la proposition technique et les accords.
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