Vertical CVD (SiC)

Description
Vertical CVD four tubulaire (carbure de silicium) adopte méthyltrichlorosilane (MTS) comme source d'air pour faire le revêtement résistant à l'oxydation de la surface du matériau et de changer les caractères de la matrice material.
 
Caractéristiques techniques
1. La technologie de contrôle la plus avancée est adopté pour contrôler le débit et la pression de MTS, réalisant stable air de dépôt et petite range.
2 de fluctuation de pression. Vide dépôt chimique en phase vapeur four utilise chambre de dépôt conçu spécial, qui assure un bon effet d'étanchéité et une grande performance de la protection de la contamination.
3. Plusieurs canaux de dépôt assurer l'uniformité de champ d'écoulement, coin mort non-dépôt et grande surface.
4 de dépôt. Il a un traitement pour le gaz de queue haute corrosif, gaz inflammable et explosif, de la poussière et de matières collantes solide à bas point de fusion au cours de la process.
5 de dépôt. La nouvelle unité de conception anti-vide à la corrosion assure de longues heures de travail continues et à court maintainence time.

Configuration optionnelle de Vertical CVD Tube Furnace
1. Furnace porte: vis Type d'élévation / hydraulique Type d'élévation / d'élévation manuel, Manuel serré / Auto lock-anneau tight
2. Récipient de four: Tout acier au carbone / couche intérieure en acier inoxydable / steel
3 inoxydable total. Fourneau zone chaude: carbone feutre mou / graphite feutre mou / dur de feutre composite / CFC
4. Élément de chauffage et le moufle graphite isostatique presse / Communiqués de haute pureté, de haute résistance et à haute densité de graphite / fine taille graphite
5. Système de traitement de gaz: Volume / Masse débitmètre, vanne manuelle / vanne automatique, marque / brand
6 chinois des Affaires étrangères. La pompe à vide et la jauge: marque étrangère / brand
7 chinois. HMI: écran de simulation / écran tactile / industriel computer
8 personnelle. PLC: OMRON / Siemens
9. Régulateur de température: SHIMADEN / EUROTHERM
10. Thermocouple: type C, de type S, de type K, N type
11. Enregistreur: Enregistreur sans papier / enregistreur papier, marque étrangère / brand
12 chinois. Composants électriques: CHINT / Schneider / Siemens

Spécifications de Vertical CVD Tube Furnace

Spec. \ Modèle	VCVD-0305-SIC	VCVD-0508- SIC	VCVD-0812- SIC	VCVD-1015- SIC	VCVD-1218- SIC	VCVD-1520- SIC
Zone de travail Dimensions (H x D) (mm)	Φ300 × 500	Φ500 × 800	Φ800 × 1200	Φ1000 × 1500	Φ1200 × 1800	Φ1500 × 2000
Capacité de charge (kg)	50	150	500	1000	2000	3000
Max.Temperature (° C)	1500	1500	1500	1500	1500	1500
Température de l'homogénéité (° C)	± 5	± 5	± 7,5	± 7,5	± 10	± 10
Puissance de chauffage de dépôt sous vide en phase vapeur chimique four ((kW)	45	90	180	300	420	540
Vide final (Pa)	20	20	20	20	20	20
Augmenter la pression Taux (Pa / h)	0,67	0,67	0,67	0,67	0,67	0,67
Les paramètres ci-dessus peuvent être adaptées aux exigences du procédé, ils ne sont pas en tant que norme d'acceptation, le détail spec. sera indiqué dans la proposition technique et les accords.