Spec \ Modèle | VDP-446 | VDP-556 | VDP-666 | VDP-776 | VDP-886 | VDP-996 |
Taille effective de la zone chaude W x H x L (mm) | 400 × 400 × 600 | 500 × 500 × 700 | 600 × 600 × 900 | 700 × 700 × 1 100 | 800 × 800 × 1200 | 900 × 900 × 1500 |
Puissance de chauffage (kW) | 75 | 90 | 150 | 270 | 360 | 540 |
Max.temperature (° C) | 1,300 | 1,300 | 1,300 | 1,300 | 1,300 | 1,300 |
Température de l'homogénéité (° C) | ± 5 | ± 5 | ± 5 | ± 5 | ± 5 | ± 5 |
Degré de vide (Pa) | 4 × 104 × 10-3/ 6 × 10-4 | 4 × 104 × 10-3/ 6 × 10-4 | 4 × 104 × 10-3/ 6 × 10-4 | 4 × 104 × 10-3/ 6 × 10-4 | 4 × 104 × 10-3/ 6 × 10-4 | 4 × 104 × 10-3/ 6 × 10-4 |
Augmenter la pression Taux (Pa / h) | ≤0.26 | ≤0.26 | ≤0.26 | ≤0.26 | ≤0.26 | ≤0.26 |
≤0.65 | ≤0.65 | ≤0.65 | ≤0.65 | ≤0.65 | ≤0.65 |
Spec \ Modèle | VHP-446 | VHP -556 | VHP -666 | VHP -776 | VHP -886 | VHP -996 |
Taille effective de la zone chaude W x H x L (mm) | 400 × 400 × 600 | 500 × 500 × 600 | 600 × 600 × 600 | 700 × 700 × 600 | 800 × 800 × 600 | 900 × 900 × 600 |
Puissance de chauffage (kW) | 75 | 90 | 150 | 270 | 360 | 540 |
Max.temperature (° C) | 2,350 | 2,350 | 2,350 | 2,350 | 2,350 | 2,350 |
Température de l'homogénéité (° C) | ± 5 | ± 5 | ± 5 | ± 5 | ± 5 | ± 5 |
Degré de vide de vide soudage diffusion four (Pa) | 4 × 104 × 10-3/ 6 × 10-4 | 4 × 104 × 10-3/ 6 × 10-4 | 4 × 104 × 10-3/ 6 × 10-4 | 4 × 104 × 10-3/ 6 × 10-4 | 4 × 104 × 10-3/ 6 × 10-4 | 4 × 104 × 10-3/ 6 × 10-4 |
Augmenter la pression Taux (Pa / h) | ≤0.26 | ≤0.26 | ≤0.26 | ≤0.26 | ≤0.26 | ≤0.26 |
≤0.65 | ≤0.65 | ≤0.65 | ≤0.65 | ≤0.65 | ≤0.65 |
Étiquette: Tube horizontal Fours CVD | CVD horizontale Furnace | CVD horizontale Fours pour le carbure de silicium | Horizontal Chemical Vapor Deposition Tube Furnace
Étiquette: Passez l'aspirateur Simple Chambre four de recuit | Horizontal Chambre Simple vide four de recuit | Horizontaux Fours sous vide de recuit | Fours sous vide de recuit