Description Vertical CVD (carbone) est utilisé pour composite CVD de matériel qui a utilisé des gaz d'hydrocarbures (comme C3H8) comme source de carbone. Il fonctionne sur les maladies cardiovasculaires et le traitement CVI pour les matériaux de carbone.
Caractéristiques techniques 1. L'utilisation de différentes zones de contrôle de température en fonction de la taille de la zone de travail, assurant grands uniformity. 2 de température. La technologie de contrôle la plus avancée est adopté pour contrôler le débit et la pression de MTS, réalisant stable air de dépôt et petite range. 3 de fluctuation de pression. L'unité à vide anti-corrosion nouvellement conçue assure une longue période de travail continu et à faible rate. 4 de maintainence. Le four vertical du tube de carbone sous vide utilise chambre de dépôt conçu spécial, qui assure un bon effet d'étanchéité et une grande performance de la protection de la contamination. 5. Plusieurs canaux de dépôt assurer l'uniformité de champ d'écoulement, coin mort non-dépôt et grande surface. 6 de dépôt. Corrosive Haute gaz de queue, gaz combustible et d'explosion, de la poussière solide et le produit de bas point de fusion peuvent être traités efficacement dans le processus de deposition.
Configuration optionnelle de Vertical CVD 1. Furnace porte: vis Type d'élévation / hydraulique Type d'élévation / d'élévation manuel, Manuel serré / Auto lock-anneau tight 2. Récipient de four: Tout acier au carbone / couche intérieure en acier inoxydable / steel 3 inoxydable total. Fourneau zone chaude: carbone feutre mou / graphite feutre mou / dur de feutre composite / CFC 4. Élément de chauffage et le moufle graphite isostatique presse / Communiqués de haute pureté, de haute résistance et à haute densité de graphite / fine taille graphite 5. Système de traitement de gaz: Volume / Masse débitmètre, vanne manuelle / vanne automatique, marque / brand 6 chinois des Affaires étrangères. La pompe à vide et la jauge: marque étrangère / brand 7 chinois. HMI: écran de simulation / écran tactile / industriel computer 8 personnelle. PLC: OMRON / Siemens 9. Régulateur de température: SHIMADEN / EUROTHERM 10. Thermocouple: type C, de type S, de type K, N type 11. Enregistreur: Enregistreur sans papier / enregistreur papier, marque étrangère / brand 12 chinois. Composants électriques: CHINT / Schneider / Siemens
Spécifications de Vertical CVD
Spec. \ Modèle
VCVD-0305-C
VCVD-0508-C
VCVD-0812-C
VCVD-1015-C
VCVD-1218-C
VCVD-1520-C
Zone de travail Dimensions (H x D) (mm)
Φ300 × 500
Φ500 × 800
Φ800 × 1200
Φ1000 × 1500
Φ1200 × 1800
Φ1500 × 2000
Capacité de charge (kg)
50
150
500
1000
2000
3000
Max.Temperature (° C)
1500
1500
1500
1500
1500
1500
Température de l'homogénéité (° C)
± 5
± 5
± 7,5
± 7,5
± 10
± 10
La puissance de chauffage de tube à vide vertical carbone four (kW)
45
90
180
300
420
540
Vide final (Pa)
20
20
20
20
20
20
Pression vitesse de montée (Pa / h)
0,67
0,67
0,67
0,67
0,67
0,67
Les spécifications ci-dessus peuvent être adaptées aux exigences du processus, ils ne sont pas en tant que norme d'acceptation, le détail spec. sera indiqué dans la proposition technique et les accords.
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