Horizontal Furnace CVD (SiC)

DescriçãoForno de tubo
Horizontal CVD (carboneto de silício) usa metiltriclorossilano (MTS) como fonte de ar para revestimento resistente à oxidação make  superfície do material e alterar os caracteres da matriz material.

Características técnicas
1. Alta gás corrosivo cauda, ​​gás combustível e explosões, poeira sólida e baixo ponto de fusão do produto pode ser tratada de forma eficaz durante a deposição process.
2. Forno de deposição de vapor químico Horizontal usa especial projetado câmara de deposição, o que garante efeito de vedação boa e forte capacidade antipoluição.
3. A tecnologia de controle mais avançado é adotado para o controle preciso do fluxo e pressão MTS, percebendo o fluxo de ar estável e deposição range.
4 flutuação da pressão estreita. A nova unidade de design anti corrosão garante vácuo período de trabalho contínuo longo e baixo rate.
5 maintainence. Vários canais de deposição alcançar uniformidade campo de fluxo, não-deposição canto inoperante e melhor deposição effect.

Configuração opcional de Horizontal CVD Furnace
1. Porta do forno: Hing transformando tipo / tipo de carrinho, manual apertado / Auto lock-anel tight
2. Navio Furnace: Todos aço carbono camada / Inner aço inoxidável / steel
3 inoxidável total. Forno zona quente: carbono de feltro / grafite macio sentida / duramente sentida composta / CFC
4. Elemento de aquecimento e abafar: Isostatic imprensa grafite / Prensa de alta pureza, alta resistência e alta densidade grafite / multa tamanho graphite
5. Sistema de processo de gás: Volume / Massa fluxo metros, válvula Manual / Auto válvula, marca / brand
6 chinês das Relações Exteriores. Bomba de vácuo e de calibre: marca estrangeira / brand
7 chinês. HMI: tela Simulação / tela de toque / industrial computer
8 pessoal. PLC: OMRON / Siemens
9. Controlador de temperatura: SHIMADEN / EUROTHERM
10. Thermocouple: tipo C, tipo S, tipo K, N type
11. Recorder: Paperless gravador / gravador de papel, marca estrangeira / brand
12 chinês. Componentes elétricos: CHINT / Schneider / Siemens
13. Carga de caminhão: Tipo de rolo / tipo Fork / condução de longa distância dobrado type

Especificações de Horizontal CVD fornalha tubular

Spec. \ Modelo	Equipa HCVD-060.609-C	Equipa HCVD-080.812-C	Equipa HCVD-101015-C	Equipa HCVD-121225-C	Equipa HCVD-151.530-C	Equipa HCVD-252035-C	Equipa HCVD-252550-C
Zona de Trabalho Tamanho (W × H × L) (mm)	600 × 600 × 900	800 × 800 × 1200	1000 × 100 × 1500	1200 × 200 × 2500	1500 × 1500 × 3000	2500 × 2000 × 3500	2500 × 2500 × 5000
Capacidade de Carga (kg)	300	800	1500	2500	5000	10000	20000
Max.Temperature (° C)	1500	1500	1500	1500	1500	1500	1500
A uniformidade de temperatura (° C)	± 7,5	± 7,5	± 7,5	± 10	± 10	± 15	± 15
Poder do aquecimento do forno de deposição de vapor químico horizontal (kW)	210	360	480	600	900	1200	1800
Vácuo final (Pa)	20	20	20	20	20	20	20
Pressão aumento da taxa (Pa / h)	0,67	0,67	0,67	0,67	0,67	0,67	0,67
Os parâmetros acima podem ser ajustados para os requisitos do processo, eles não são tão aceitação padrão, o detalhe spec. será indicado na proposta técnica e acordos.