Vertical CVD Furnace (SiC)

DescriçãoForno de tubo
Vertical CVD (Silicon Carbide) adota metiltriclorossilano (MTS) como fonte de ar para fazer revestimento resistente à oxidação superfície do material e alterar os caracteres da matriz material.
 
Características técnicas
1. A tecnologia de controle mais avançado é adotado para controlar o fluxo ea pressão da MTS, percebendo o fluxo de ar deposição estável e pequena range.
2 flutuação da pressão. Forno de deposição de vapor químico vácuo usa especial projetado câmara de deposição, o que garante efeito de vedação bom e ótimo desempenho de proteção contaminação.
3. Vários canais de deposição assegurar uniformidade campo de fluxo, canto mortos não-deposição e grande surface.
4 deposição. Tem tratamento para o gás de alta cauda corrosivo, gás inflamável e explosivo, pó sólido e ponto de fusão materiais pegajosos baixos durante o process.
5 deposição. A nova unidade de design anti vácuo corrosão garante longas horas de trabalho contínuas e curta maintainence time.

Configuração opcional de DCV Vertical fornalha tubular
1. Furnace porta: parafuso tipo elevação / type elevação hidráulica / manual de elevação, manual apertado / Auto lock-anel tight
2. Navio Furnace: Todos aço carbono camada / Inner aço inoxidável / steel
3 inoxidável total. Forno zona quente: carbono de feltro / grafite macio sentida / duramente sentida composta / CFC
4. Elemento de aquecimento e abafar: Isostatic imprensa grafite / Prensa de alta pureza, alta resistência e alta densidade grafite / multa tamanho graphite
5. Sistema de processo de gás: Volume / Massa fluxo metros, válvula Manual / Auto válvula, marca / brand
6 chinês das Relações Exteriores. Bomba de vácuo e de calibre: marca estrangeira / brand
7 chinês. HMI: tela Simulação / tela de toque / industrial computer
8 pessoal. PLC: OMRON / Siemens
9. Controlador de temperatura: SHIMADEN / EUROTHERM
10. Thermocouple: tipo C, tipo S, tipo K, N type
11. Recorder: Paperless gravador / gravador de papel, marca estrangeira / brand
12 chinês. Componentes elétricos: CHINT / Schneider / Siemens

Especificações do CVD Vertical fornalha tubular

Spec. \ Modelo	VCVD-0305-SIC	VCVD-0508- SIC	VCVD-0812- SIC	VCVD-1015- SIC	VCVD-1218- SIC	VCVD-1520- SIC
Zona de Trabalho Size (D × H) (mm)	Φ300 × 500	Φ500 × 800	Φ800 × 1200	Φ1000 × 1500	Φ1200 × 1800	Φ1500 × 2000
Capacidade de Carga (kg)	50	150	500	1000	2000	3000
Max.Temperature (° C)	1500	1500	1500	1500	1500	1500
A uniformidade de temperatura (° C)	± 5	± 5	± 7,5	± 7,5	± 10	± 10
Poder do aquecimento do forno a vácuo deposição de vapor químico ((kW)	45	90	180	300	420	540
Vácuo final (Pa)	20	20	20	20	20	20
Pressão aumento da taxa (Pa / h)	0,67	0,67	0,67	0,67	0,67	0,67
Os parâmetros acima podem ser ajustados para os requisitos do processo, eles não são tão aceitação padrão, o detalhe spec. será indicado na proposta técnica e acordos.