Vertical CVD Furnace (C)

Descrição
Vertical DCV fornalha (carbono) é usado para DCV material compósito que é utilizado gás hidrocarboneto (como C3H8) como fontes de carbono. Ele funciona em CVD e tratamento CVI para materiais de carbono.

Características técnicas
1. Usando diferentes zonas de controlo da temperatura de acordo com o tamanho da zona de trabalho, assegurando grandes uniformity.
2 temperatura. A tecnologia de controle mais avançado é adotado para controlar o fluxo ea pressão da MTS, percebendo o fluxo de ar deposição estável e pequena range.
3 flutuação da pressão. A unidade de vácuo anti-corrosão recém-projetado assegura período de trabalho contínuo longo e baixo rate.
4 maintainence. O forno de tubo de carbono vácuo verticais usa especial projetado câmara de deposição, o que garante efeito de vedação bom e ótimo desempenho de proteção contaminação.
5. Vários canais de deposição assegurar uniformidade campo de fluxo, canto mortos não-deposição e grande surface.
6 deposição. Alta gás da cauda corrosivo, gás combustível e explosões, poeira sólida e baixo ponto de fusão do produto podem ser tratadas eficazmente no processo de deposition.

Configuração opcional de Vertical CVD Furnace 
1. Furnace porta: parafuso tipo elevação / type elevação hidráulica / manual de elevação, manual apertado / Auto lock-anel tight
2. Navio Furnace: Todos aço carbono camada / Inner aço inoxidável / steel
3 inoxidável total. Forno zona quente: carbono de feltro / grafite macio sentida / duramente sentida composta / CFC
4. Elemento de aquecimento e abafar: Isostatic imprensa grafite / Prensa de alta pureza, alta resistência e alta densidade grafite / multa tamanho graphite
5. Sistema de processo de gás: Volume / Massa fluxo metros, válvula Manual / Auto válvula, marca / brand
6 chinês das Relações Exteriores. Bomba de vácuo e de calibre: marca estrangeira / brand
7 chinês. HMI: tela Simulação / tela de toque / industrial computer
8 pessoal. PLC: OMRON / Siemens
9. Controlador de temperatura: SHIMADEN / EUROTHERM
10. Thermocouple: tipo C, tipo S, tipo K, N type
11. Recorder: Paperless gravador / gravador de papel, marca estrangeira / brand
12 chinês. Componentes elétricos: CHINT / Schneider / Siemens

Especificações do Vertical CVD Furnace

Spec. \ Modelo	VCVD-0305-C	VCVD-0508-C	VCVD-0812-C	VCVD-1015-C	VCVD-1218-C	VCVD-1520-C
Zona de Trabalho Size (D × H) (mm)	Φ300 × 500	Φ500 × 800	Φ800 × 1200	Φ1000 × 1500	Φ1200 × 1800	Φ1500 × 2000
Capacidade de Carga (kg)	50	150	500	1000	2000	3000
Max.Temperature (° C)	1500	1500	1500	1500	1500	1500
A uniformidade de temperatura (° C)	± 5	± 5	± 7,5	± 7,5	± 10	± 10
Potência de aquecimento de vácuo vertical, forno de tubo de carbono (kW)	45	90	180	300	420	540
Vácuo final (Pa)	20	20	20	20	20	20
Aumento da taxa de pressão (Pa / h)	0,67	0,67	0,67	0,67	0,67	0,67
As especificações acima pode ser ajustado às exigências do processo, eles não são tão aceitação padrão, o detalhe spec. será indicado na proposta técnica e acordos.