Orizzontale CVD Fornace (SiC)

DescrizioneForno tubolare
Horizontal CVD (carburo di silicio) utilizza metiltriclorosilano (MTS) come fonte di aria di rivestimento resistente make  materiale ossidazione superficiale e cambiare i caratteri di matrice material.

Caratteristiche tecniche
1. Gas ad alta corrosivo coda, gas combustibili ed esplosioni, polvere solido e basso punto di fusione del prodotto possono essere trattati efficacemente durante la deposizione process.
2. Orizzontale forno di deposizione chimica da vapore utilizza speciale camera di deposizione progettato, che garantisce buona tenuta e forte capacità antinquinamento.
3. La tecnologia di controllo più avanzata è adottata per un controllo preciso del flusso e della pressione MTS, realizzando un flusso d'aria stabile deposizione e stretto range.
4 fluttuazione della pressione. La nuova unità disegno anticorrosione vuoto garantisce lungo periodo di lavoro continuo e basso rate.
5 maintainence. Canali di deposizione di più a raggiungere campo uniformità del flusso, non deposizione angolo morto e una migliore deposizione effect.

Configurazione facoltativa di orizzontale CVD Furnace
1. Porta del forno: Hing girando tipo tipo / carrello, manuale stretto / Auto blocco anello tight
2. Nave Furnace: Tutto l'acciaio al carbonio strato / interno in acciaio inox / acciaio steel
3 totale. Fornace zona calda: Si sente SOFT CARBON / soft grafite ritenuto / Hard composito ritenuto / CFC
4. Elemento riscaldante e soffocare: isostatico premere grafite / Press elevata purezza, ad alta resistenza e ad alta densità grafite / multa graphite
5 dimensioni. Sistema di processo a gas: Volume / massa contalitri, valvola manuale / valvola automatica, marca / brand
6 cinese degli Esteri. Pompa a vuoto e manometro: Esteri marchio / brand
7 cinese. HMI: schermo di simulazione / Touch screen / industriale computer
8 personale. PLC: OMRON / Siemens
9. Regolatore di temperatura: SHIMADEN / EUROTHERM
10. Termocoppia: tipo C, tipo S, tipo K, N type
11. Registratore: Registratore Registratore senza carta / carta, Esteri marchio / brand
12 cinese. Componenti elettrici: CHINT / Schneider / Siemens
13. Camion carico: a rulli / Fork Tipo / piegata lunga distanza di guida type

Specifiche del tubo orizzontale CVD Furnace

Spec. \ Modello	HCVD-060609-C	HCVD-080812-C	HCVD-101015-C	HCVD-121225-C	HCVD-151530-C	HCVD-252035-C	HCVD-252550-C
Zona di lavoro Dimensioni (L x A x L) (mm)	600 × 600 × 900	800 × 800 × 1200	1000 × 100 × 1500	1200 × 200 × 2500	1500 × 1500 × 3000	2500 × 2000 × 3500	2500 × 2500 × 5000
Capacità di carico (kg)	300	800	1500	2500	5000	10000	20000
Mass (° C)	1500	1500	1500	1500	1500	1500	1500
Temperatura Uniformità (° C)	± 7.5	± 7.5	± 7.5	± 10	± 10	± 15	± 15
Riscaldamento elettrico del forno chemical vapor deposition orizzontale (kW)	210	360	480	600	900	1200	1800
Vuoto finale (Pa)	20	20	20	20	20	20	20
Pressione Aumento Rate (Pa / h)	0.67	0.67	0.67	0.67	0.67	0.67	0.67
I suddetti parametri possono essere adattati alle esigenze di processo, non sono standard accettazione, dettaglio spec. sarà indicato nella proposta tecnica e accordi.