Verticale CVD Fornace (SiC)

DescrizioneForno tubolare
Vertical CVD (carburo di silicio) adotta metiltriclorosilano (MTS) come fonte di aria per fare rivestimento resistente all'ossidazione superficie del materiale e modificare i caratteri di matrice material.
 
Caratteristiche tecniche
1. La tecnologia di controllo più avanzata è adottato per controllare il flusso e la pressione di MTS, realizzando un flusso d'aria stabile deposizione e piccola fluttuazione della pressione range.
2. Forno a vuoto deposizione chimica da vapore utilizza speciale camera di deposizione progettato, che garantisce buona tenuta e la grande prestazione di protezione contaminazione.
3. Canali di deposizione multiple garantiscono uniformità di campo di moto, angolo morto non deposizione e grande surface.
4 deposizione. Ha trattamento per l'alta gas di coda corrosivi, gas infiammabile ed esplosivo, polvere e solido punto di fusione di materiali appiccicosi bassi durante il process.
5 di deposizione. La nuova unità disegno anticorrosione vuoto garantisce lunghe ore di lavoro continuo e breve maintainence time.

Configurazione facoltativa di Vertical CVD tubo Furnace
1. Porta del forno: vite tipo elevazione / tipo elevazione idraulica / elevazione manuale, manuale stretto / Auto blocco anello tight
2. Nave Furnace: Tutto l'acciaio al carbonio strato / interno in acciaio inox / acciaio steel
3 totale. Fornace zona calda: Si sente SOFT CARBON / soft grafite ritenuto / Hard composito ritenuto / CFC
4. Elemento riscaldante e soffocare: isostatico premere grafite / Press elevata purezza, ad alta resistenza e ad alta densità grafite / multa graphite
5 dimensioni. Sistema di processo a gas: Volume / massa contalitri, valvola manuale / valvola automatica, marca / brand
6 cinese degli Esteri. Pompa a vuoto e manometro: Esteri marchio / brand
7 cinese. HMI: schermo di simulazione / Touch screen / industriale computer
8 personale. PLC: OMRON / Siemens
9. Regolatore di temperatura: SHIMADEN / EUROTHERM
10. Termocoppia: tipo C, tipo S, tipo K, N type
11. Registratore: Registratore Registratore senza carta / carta, Esteri marchio / brand
12 cinese. Componenti elettrici: CHINT / Schneider / Siemens

Specifiche del Vertical CVD tubo Furnace

Spec. \ Modello	VCVD-0305-SIC	VCVD-0508- SIC	VCVD-0812- SIC	VCVD-1015- SIC	VCVD-1218- SIC	VCVD-1520- SIC
Zona di lavoro Dimensioni (P × A) (mm)	Φ300 × 500	Φ500 × 800	Φ800 × 1200	Φ1000 × 1500	Φ1200 × 1800	Φ1500 × 2000
Capacità di carico (kg)	50	150	500	1000	2000	3000
Mass (° C)	1500	1500	1500	1500	1500	1500
Temperatura Uniformità (° C)	± 5	± 5	± 7.5	± 7.5	± 10	± 10
Riscaldamento elettrico del vuoto forno chemical vapor deposition ((kW)	45	90	180	300	420	540
Vuoto finale (Pa)	20	20	20	20	20	20
Pressione Aumento Rate (Pa / h)	0.67	0.67	0.67	0.67	0.67	0.67
I suddetti parametri possono essere adattati alle esigenze di processo, non sono standard accettazione, dettaglio spec. sarà indicato nella proposta tecnica e accordi.