抗酸化コーティング炉

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説明
Anti酸化コーティング炉は、蒸発室に入れ、次いで、堆積チャンバ内に前駆体（のNaCl、ZrCI4）をマトリックス材料（グラファイトまたはC / C）を入れ、堆積チャンバと蒸着室を有しています。前駆体蒸気は、その後、前駆体物質は、抗酸化性を改善するためにコーティングを形成するためにマトリックス表面上に堆積し、高温配管を介して堆積チャンバに入るので、チャンバ内で加熱蒸発します。

技術的特長
1。真空コーティング炉は、別々の堆積温度と蒸発温度制御zone.
2を有し、上部と下部の二つの室を有しています。塗布速度及び時間は、蒸発温度を制御することによって制御されます。それはまた、高精度の粉末が堆積速度とtime.
3を制御するための入力、特定の前駆体に蒸発室でデバイスを提供する追加することができます。特別な高温の接続技術が凝縮し、jam.
4ずに前駆体蒸気を作るために採用されています。特別設計された高温の赤外線測定技術は、精密な温度制御と密接なエラーで採用されています。
5。炉は、環境に優しく、洗浄のために便利である特別な排気ガス処理装置を使用します。

酸化防止コーティング炉のオプションの構成
1。炉の扉：タイプ/トロリータイプ、手動タイト/オートロックリングtight
2を回しヒンジ。炉容器：すべての炭素鋼/インナー層ステンレス鋼/総ステンレスsteel
3。ホットゾーンを炉：ソフトカーボン/ソフトグラファイト/ハード複合体は/ CFC
4を感じたフェルト。加熱要素とマッフル：静水圧プレスグラファイト/プレス高純度、高強度、高密度グラファイト/細かいサイズgraphite
6。真空ポンプとゲージ：外国ブランド/中国brand
7。 PLC：オムロン/ Siemens
8。温度コントローラ：シマデン/ EUROTHERM
9。熱電対：Cタイプ、Sタイプ、Kタイプ、N type
10。レコーダー：ペーパーレスレコーダー/紙レコーダー、外国ブランド/中国brand
12。赤外線メーター：シングルカラー/ダブルカラー、CHINO / RAYTEK
13。 HMI：シミュレーション画面/タッチスクリーン/産業個人computer
14。電気部品：CHINT /シュナイダー/ Siemens
15。ロードトラック：ローラータイプ/フォーク型/二つ折り長距離走行type

酸化防止コーティング炉の仕様

スペック\モデル	AOC-0304	AOC-0406	AOC-0810	AOC-1012
ワーキングゾーンサイズ（D×L）（mm）の	400×Φ300	600×Φ400	×1000Φ800	1200×Φ1000
堆積チャンバ内Max.Temperature（°C）	1800	1800	1800	1800
蒸発チャンバ内Max.Temperature（°C）	1000年	1000年	1000年	1000年
真空コーティング炉の温度均一性（°C）	±3	±5	7.5±	7.5±
堆積チャンバ内で加熱電力（キロワット）	60	100	250	450
到達真空度（PA）	10PA / 5×10^{10PA / 5×10}-3	10PA / 5×10^{10PA / 5×10}-3	10PA / 5×10^{10PA / 5×10}-3	10PA / 5×10^{10PA / 5×10}-3
圧力上昇率（PA / H）	0.5	0.5	0.5	0.5
上記のパラメータは、プロセス要件、それらが合格基準としてではなく、詳細な仕様に調整することができます。技術提案や合意に明記されます。

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