スペック\モデル | VLG-0310 | VLG-0515 |
H×ワーキングゾーンサイズD(mm)の | ×1000Φ300 | 1500×Φ500 |
生産能力(キロ/ H) | 50 200へ | 100から500 |
Max.Temperature(°C) | 2600 | 2600 |
温度均一性(°C) | ±15 | ±15 |
加熱電力(キロワット) | 210 | 360 |
到達真空度(PA) | 20 | 20 |
圧力上昇率(PA / H) | 0.67 | 0.67 |
上記のパラメータは、プロセス要件、それらが合格基準としてではなく、詳細な仕様に調整することができます。技術提案や合意に明記されます。 |
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