水平CVD炉（SIC）

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説明
Horizontal CVDチューブ炉（炭化ケイ素）がmake 材料表面の耐酸化コーティングに空気源として（MTS）メチルトリクロロシランを使用し、マトリックスmaterial.

の文字を変更技術的特長
1。高腐食性のテールガス、可燃性及び爆発ガス、固体ゴミ及び低融点物は、堆積process.
2中に効果的に治療することができます。水平化学蒸着炉は良好なシール効果と強い汚染防止能を保証する特別に設計され、堆積チャンバを使用します。
3。ほとんどの事前制御技術は、安定した成膜気流と狭い圧力変動range.
4を実現、精密な制御にMTSの流れと圧力を採用しています。新しいデザイン抗腐食真空ユニットは、長い連続作業時間と低maintainenceのrate.
5を保証します。複数の堆積チャネルは、流れ場の均一性、非堆積死角とよりよい堆積effect.

を達成水平CVD炉のオプションの構成
1。炉の扉：興回すタイプ/トロリータイプ、手動タイト/オートロックリングtight
2。炉容器：すべての炭素鋼/インナー層ステンレス鋼/総ステンレスsteel
3。ホットゾーンを炉：ソフトカーボン/ソフトグラファイト/ハード複合体は/ CFC
4を感じたフェルト。加熱要素とマッフル：静水圧プレスグラファイト/プレス高純度、高強度、高密度グラファイト/細かいサイズgraphite
5。プロセスガスシステム：ボリューム/質量流量計、手動バルブ/オートバルブ、外国ブランド/中国brand
6。真空ポンプとゲージ：外国ブランド/中国brand
7。 HMI：シミュレーション画面/タッチスクリーン/産業個人computer
8。 PLC：オムロン/ Siemens
9。温度コントローラ：シマデン/ EUROTHERM
10。熱電対：Cタイプ、Sタイプ、Kタイプ、N type
11。レコーダー：ペーパーレスレコーダー/紙レコーダー、外国ブランド/中国brand
12。電気部品：CHINT /シュナイダー/ Siemens
13。ロードトラック：ローラータイプ/フォーク型/二つ折り長距離走行type

水平のCVDチューブ炉の仕様

スペック。\モデル	HCVD-060609-C	HCVD-080812-C	HCVD-101015-C	HCVD-121225-C	HCVD-151530-C	HCVD-252035-C	HCVD-252550-C
ワーキングゾーンサイズ（W×H×L）（mm）の	600×600×900	800×800×1200	100×1500×1000年	200×2500×1200	1500×1500×3000	2500×2000×3500	2500×2500×5000
負荷容量（キロ）	300	800	1500	2500	5000	10000	20000
Max.Temperature（°C）	1500	1500	1500	1500	1500	1500	1500
温度均一性（°C）	7.5±	7.5±	7.5±	±10	±10	±15	±15
水平の化学気相成長炉の加熱出力（kW）	210	360	480	600	900	1200	1800
到達真空度（PA）	20	20	20	20	20	20	20
圧力上昇率（PA / H）	0.67	0.67	0.67	0.67	0.67	0.67	0.67
上記のパラメータは、プロセス要件、それらが合格基準としてではなく、詳細な仕様に調整することができます。技術提案や合意に明記されます。

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