スペック\モデル | TMDS-020230 | TMDS-030306 | TMDS-040408 | TMDS-050513 |
効果的なホットゾーンサイズW×H×L(mm)の | 200×200×300 | 300×300×600 | 400×400×800 | 500×500×1300 |
Max.Weight(キログラム)(実際の積載重量を意味するものではありませ) | 30 | 150 | 250 | 500 |
Max.temperature(°C) | 1550 | 1550 | 1550 | 1550 |
温度均一性(°C) | ±3 | ±3 | ±3 | ±5 |
加熱電力(キロワット) | 45 | 75 | 90 | 210 |
到達真空度(PA) | 1 | 1 | 1 | 1 |
圧力上昇率(PA / H) | ≤0.67 | ≤0.67 | ≤0.67 | ≤0.67 |
脱脂ガス | Ar / NAr / N2/ H2 | Ar / NAr / N2/ H2 | Ar / NAr / N2/ H2 | Ar / NAr / N2/ H2 |
上記のパラメータは、プロセス要件、それらが合格基準としてではなく、詳細な仕様に調整することができます。技術提案や合意に明記されます。 |
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