スペック\モデル | HVG-060609-C | HVG-080812-C | HVG-101015-C | HVG-131320-C | HVG-151530-C | HVG-202040-C | HVG-252550-C |
ワーキングゾーンサイズ(W×H×L)(mm)の | 600×600×900 | 800×800×1200 | ×1000×1000 1500 | 1300×1300×2000 | 1500×1500×3000 | 2000×2000×4000 | 2500×2500×5000 |
負荷容量(キロ) | 300 | 800 | 1500 | 3000 | 5000 | 10000 | 20000 |
Max.Temperature(°C) | 2400 | 2400 | 2400 | 2400 | 2400 | 2400 | 2600 |
温度均一性(°C) | 7.5± | 7.5± | ±10 | ±10 | ±15 | ±20 | ±20 |
水平黒鉛チューブ炉の加熱電力(キロワット) | 270 | 450 | 540 | 800 | 1200 | 1800 | 3600 |
到達真空度(PA) | 20 | 20 | 20 | 20 | 20 | 20 | 20 |
圧力上昇率(PA / h)参照) | 0.67 | 0.67 | 0.67 | 0.67 | 0.67 | 0.67 | 0.67 |
上記のパラメータは、プロセス要件、それらが合格基準としてではなく、詳細な仕様に調整することができます。技術提案や合意に明記されます。 |
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