Description
垂直真空炉は、高さの垂直石英ライナーと、ステンレス鋼の真空フランジ8 "7×直径」と真空室炉です。これは、焼成または1200℃C.
まで真空または様々なガス雰囲気下でセラミック材料または熱処理、半導体ウエハを焼結するために設計されています
Features
発熱体として1高品質ニッケル - クロム - アルミニウム抵抗線。マックス。温度は1200℃、
に到達することができます2.高純度石英ライナー：8「7.5×（OD）」（ID）×8」（高さ）（200×190×200ミリメートル）、
3.効果的な加熱室：7.5（H）、（5.6リットル）、
」（ダイヤ）8.0×」2ボールバルブ、真空ゲージ付4.ステンレス製真空フランジは
、すぐに使用するために含まれています30セグメントを持つ5.電源制御programmable
6.すべての付属品はすぐに使用するために含まれています
熱damage.
からステンレス鋼を保護するために、内側の石英ライナーの頂部に置かれなければならない耐火ディスク（1）ワンピース（2）使用して、一つの高温手袋を使用＆LTすることができます。 90
パラメータ
チャンバー内寸
| Dia240×220ミリメートル
|
マックス。作業温度
| 1200°C
|
標準作業温度
| 1100°C
|
温度制御
| 30セグメントプログラム可能とPID自動制御
|
クォーツチューブサイズ
| 340ミリメートル高さ×190ミリメートル（ID）×205ミリメートル（OD）
|
真空フランジ
| ダブルハイ温度シリコーンOリング付きステンレススチール（＆LT; 300°C）
ボールバルブと真空計は、すぐに使用するためにインストールされています
機械式ポンプによって10PAに真空圧力アップ
一つの多孔質セラミックディスクが含まれています。過加熱されたフランジを回避するために、前部フランジの耐火ディスクを置く必要があります
|
加熱速度
| 0から20℃/分
|
温度精度
| ±2℃
|
発熱体
| 高品質のFe-CrをアルのMoスパイラルワイヤー
|
使用電圧
| AC 220V / 50HZ
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マックス。力
| 9.5kW
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正味重量
| 180キロ
|
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