Piec poziomej CVD (SiC)

Opis
Horizontal CVD piec rurowy (węglik krzemu) wykorzystuje metylotrichlorosilanu (MTS) jako źródło powietrza do materiału powłoki odpornej make  utleniania powierzchni i zmienić znaki matrycy material.

Właściwości techniczne
1. Wysoka żrący gaz resztkowy, niepalny, wybuch gazu, pyłu i niskie stałe Punkt topnienia produktu można skutecznie leczyć podczas osadzania process.
2. Poziome piece chemicznego osadzania wykorzystuje specjalnie zaprojektowane komory osadzania, który zapewnia dobry efekt uszczelniający i silną zdolność ŚRODOWISKA.
3. Najbardziej zaawansowanej technologii sterowania jest przyjęte do precyzyjnej kontroli przepływu i ciśnienia MTS, zdając sobie sprawę, stabilny przepływ powietrza osadzania i wąski wahań ciśnienia range.
4. Nowa jednostka projektowania anty próżni korozję zapewnia długą nieprzerwany okres pracy i niskie maintainence rate.
5. Wiele kanałów przepływu osadzania uzyskania jednorodności pola, bez osadzania żyje rogu i lepiej osadzania effect.

Opcjonalnie Konfiguracja pozioma CVD Furnace
1. Piec drzwi: Hing typu obracając typ / wózka, Instrukcja szczelne / Auto lock-ring tight
2. Naczynie Piec: Wszystko stal węglowa / warstwa wewnętrzna ze stali nierdzewnej / Razem stal steel
3. Piec gorącej strefy: czuł miękkie węgla / grafitowy filc miękki / twardy kompozyt czuł / CFC
4. Element grzejny i zagłuszyć: prasy izostatyczne grafit / Prasa o wysokiej czystości, o wysokiej wytrzymałości i wysokiej gęstości grafitu / fine rozmiar graphite
5. System Proces gazu: Volume / Msza przepływomierz, zawór ręczny / zawór Auto, zagranicznych marek / chiński brand
6. Pompa próżniowa i miernik: marka zagraniczna / chiński brand
7. HMI: Ekran Symulacja / Ekran dotykowy / przemysłowe osobiste computer
8. PLC OMRON / Siemens
9. Regulator temperatury: Shimaden / EUROTHERM
10. Termopara: typ C, typ S, typ K, N type
11. Rejestrator: Rejestrator ekranowy nagrywarka / papier, zupełnie obce / chiński brand
12. Elementy elektryczne: CHINT / Schneider / Siemens
13. Ciężarówka obciążenie: Rodzaj rolki / Typ wideł / długodystansowych Składane jazdy type

Specyfikacje poziomie CVD piec rurowy

Spec. \ Model	HCVD-060609-C	HCVD-080812-C	HCVD-+101015-C	HCVD-121225-C	HCVD-151,53 tysiąc-C	HCVD-252035-C	HCVD-252550-C
Strefa robocza Wymiary (W x H x L) (mm)	600 × 600 × 900	800 x 800 x 1200	1000 x 100 x 1500	1200 x 200 x 2.500	1500 x 1500 x 3000	2.500 × 2000 × 3500	2.500 x 2.500 x 5000
Udźwig (kg)	300	800	+1500	2.500	5000	10000	20000
Max.Temperature (° C)	+1500	+1500	+1500	+1500	+1500	+1500	+1500
Równomierność temperatury (° C)	± 7.5	± 7.5	± 7.5	± 10	± 10	± 15	± 15
Moc grzewcza pieca poziomej chemicznego osadzania z fazy gazowej (kW)	210	360	480	600	900	1200	1.800
Próżnia końcowa (Pa)	20	20	20	20	20	20	20
Tempo wzrostu ciśnienia (Pa / h)	0.67	0.67	0.67	0.67	0.67	0.67	0.67
Powyższe parametry mogą być dostosowane do wymagań procesowych, nie są one w standardzie odbioru, szczegóły spec. będzie określona w projekcie technicznym i umów.