Piec pionowy CVD (SiC)

Opis
Vertical CVD piec rurowy (węglik krzemu) przyjmuje metylotrichlorosilanu (MTS) jako źródła powietrza do powłoki odpornej na utlenianie powierzchni materiału i zmienić znaki matrycy material.
 
Właściwości techniczne
1. Najbardziej zaliczka zostanie przyjęta technologia sterowania do kontroli przepływu i ciśnienia MTS, zdając sobie sprawę, stabilny przepływ powietrza osadzania i małych wahań ciśnienia range.
2. Piec próżniowy chemicznego osadzania wykorzystuje specjalnie zaprojektowane komory osadzania, który zapewnia dobry efekt uszczelniający i wysoką wydajność ochrony zanieczyszczenia.
3. Wiele kanałów przepływu osadzania zapewnić jednorodność pola, bez osadzania martwy kąt i wielką osadzania surface.
4. Ma leczenia wysokiego gazów korozyjnych ogona, łatwopalnych i wybuchowych gazów, pyłów stałych i lepkich materiałów niskiej temperaturze topnienia podczas process.
5 osadzania. Nowa jednostka projektowania anty próżni korozję zapewnia długą ciągłych godzin pracy i krótkie maintainence time.

Opcjonalnie Konfiguracja pionie CVD piec rurowy
1. Piec drzwi: elewacja typu śruba / hydrauliczne typu elewacja / instrukcja elewacja, Instrukcja szczelne / Auto lock-ring tight
2. Naczynie Piec: Wszystko stal węglowa / warstwa wewnętrzna ze stali nierdzewnej / Razem stal steel
3. Piec gorącej strefy: czuł miękkie węgla / grafitowy filc miękki / twardy kompozyt czuł / CFC
4. Element grzejny i zagłuszyć: prasy izostatyczne grafit / Prasa o wysokiej czystości, o wysokiej wytrzymałości i wysokiej gęstości grafitu / fine rozmiar graphite
5. System Proces gazu: Volume / Msza przepływomierz, zawór ręczny / zawór Auto, zagranicznych marek / chiński brand
6. Pompa próżniowa i miernik: marka zagraniczna / chiński brand
7. HMI: Ekran Symulacja / Ekran dotykowy / przemysłowe osobiste computer
8. PLC OMRON / Siemens
9. Regulator temperatury: Shimaden / EUROTHERM
10. Termopara: typ C, typ S, typ K, N type
11. Rejestrator: Rejestrator ekranowy nagrywarka / papier, zupełnie obce / chiński brand
12. Elementy elektryczne: CHINT / Schneider / Siemens

Specyfikacje pionie CVD piec rurowy

Spec. \ Model	VCVD-0305-SKI	VCVD-0508- SKI	VCVD-0812- SKI	VCVD-1015- SKI	VCVD-1218- SKI	VCVD-1520- SKI
Rozmiar Strefa robocza (D x H) (mm)	Φ300 x 500	Φ500 × 800	Φ800 x 1200	Φ1000 x 1500	Φ1200 × 1800	Φ1500 × 2000
Udźwig (kg)	50	150	500	1000	2000	3000
Max.Temperature (° C)	+1500	+1500	+1500	+1500	+1500	+1500
Równomierność temperatury (° C)	± 5	± 5	± 7.5	± 7.5	± 10	± 10
Moc grzewcza pieca próżniowego chemicznego osadzania z fazy gazowej ((kW)	45	90	180	300	420	540
Próżnia końcowa (Pa)	20	20	20	20	20	20
Tempo wzrostu ciśnienia (Pa / h)	0.67	0.67	0.67	0.67	0.67	0.67
Powyższe parametry mogą być dostosowane do wymagań procesowych, nie są one w standardzie odbioru, szczegóły spec. będzie określona w projekcie technicznym i umów.