Horizontal CVD Furnace(SiC)

Beschreibung
Horizontal CVD-Rohrofen (Siliziumkarbid) verwendet Methyltrichlorsilan (MTS) als Luftquelle zu make  Materialoberfläche oxidationsbeständige Beschichtung und ändern Sie Zeichen der Matrix material.

Technische Eigenschaften
1. Hohe korrosive Abgas, brennbare und explosions Gas, Fest Staub und niedrigem Schmelzpunkt Produkt kann während der Abscheidung process.
2 effektiv behandelt werden. Horizontal chemische Gasphasenabscheidung Ofen verwendet speziell entwickelte Beschichtungskammer, die gute Dichtwirkung und starke Umweltschutzfähigkeit sichert.
3. Die Voraus Steuerungstechnik wird eine präzise Steuerung nimmt den MTS Durchfluss und Druck, zu realisieren, stabile Abscheidung Luftstrom und schmale Druckschwankung range.
4. Das neue Design Korrosionsvakuumeinheit sorgt für lange ununterbrochene Arbeitsdauer und niedrige maintainence rate.
5. Mehrere Abscheidungskanäle zu erreichen Durchflußeinheitlichkeit Feld, nicht-Abscheidung tote Ecke und bessere Abscheidung effect.

Optionale Konfiguration des Horizontal CVD-Ofen
1. Ofentür: Hing Drehen Typ / Trolley Typ, Hand eng / Auto Lock-Ring tight
2. Ofengefäß: Alle Kohlenstoffstahl / Innenschicht aus rostfreiem Stahl / Total rost steel
3. Ofen heiße Zone: Weich Kohlenstoff-Filz / Soft Graphitfilz / Hard Verbund Filz / CFC
4. Heizelement und Muffel: isostatischen Presse Graphit / Presse hohe Reinheit, hohe Festigkeit und hoher Dichte Graphit / feine Größe graphite
5. Prozessgassystems: Volumen / Massedurchfluss-Messgerät, Handventil / Auto-Ventil, Ausländische Marken / Chinese brand
6. Vakuumpumpe und Manometer: Ausländische Marken / Chinese brand
7. HMI: Simulation Bildschirm / Touchscreen / Industrie persönlichen computer
8. PLC: OMRON / Siemens
9. Temperaturregler: Shimaden / EUROTHERM
10. Thermoelement: Typ C, Typ S, Typ K, N type
11. Recorder: Bildschirmschreiber / Papier-Recorder, Ausländische Marken / Chinese brand
12. Elektrische Bauteile: CHINT / Schneider / Siemens
13. Last-LKW: Rollentyp / Gabel-Typ / Klapplangstreckenfahr type

Technische Daten des Horizontal-CVD-Rohrofen

Spec. \ Modell	HCVD-060609-C	HCVD-080812-C	HCVD-101015-C	HCVD-121225-C	HCVD-151530-C	HCVD-252035-C	HCVD-252550-C
Working Zone Größe (B × H × L) (mm)	600 × 600 × 900	800 × 800 × 1200	1000 x 100 x 1500	1200 × 200 × 2500	1500 × 1500 × 3000	2500 × 2000 × 3500	2500 × 2500 × 5000
Tragkraft (kg)	300	800	1500	2500	5000	10000	20000
Max.Temperatur (° C)	1500	1500	1500	1500	1500	1500	1500
Temperaturverteilung (° C)	± 7,5	± 7,5	± 7,5	± 10	± 10	± 15	± 15
Heizleistung horizontale chemische Gasphasenabscheidung Ofen (kW)	210	360	480	600	900	1200	1800
Endvakuum (Pa)	20	20	20	20	20	20	20
Drucksteigerungsrate (Pa / h)	0.67	0.67	0.67	0.67	0.67	0.67	0.67
Die oben genannten Parameter können an die Prozessanforderungen angepasst werden, sind sie nicht als Annahme-Standard, der Detail spec. wird im technischen Angebot und Vereinbarungen festgehalten werden.