Vertical CVD Furnace(SiC)

Beschreibung
Vertical CVD-Rohrofen (Siliziumkarbid) nimmt Methyltrichlorsilan (MTS) als Luftquelle zur Materialoberfläche oxidationsbeständige Beschichtung vornehmen und Zeichen der Matrix material.
 
Technische Eigenschaften
1. Die Voraus Steuerungstechnik wird angenommen, um Durchfluss und Druck von MTS zu steuern, zu realisieren, stabile Abscheidung Luftstrom und kleine Druckschwankung range.
2. Vakuum-chemischen Gasphasenabscheidung Ofen verwendet speziell entwickelte Beschichtungskammer, die gute Dichtwirkung und große Kontaminationsschutz Leistung sichert.
3. Mehrere Abscheidungskanäle gewährleisten Durchflußeinheitlichkeit Feld, nicht-Abscheidung tote Ecke und große Ablagerung surface.
4. Es verfügt über die Behandlung für die hohe korrosive Abgas, brennbare und explosive Gas, Fest Staub und niedrigem Schmelzpunkt klebrige Materialien während der Abscheidung process.
5. Das neue Design Korrosionsvakuumeinheit sorgt für lange durchgehenden Arbeitszeiten und Kurz maintainence time.

Optionale Konfiguration des Vertikal-CVD-Rohrofen
1. Ofentür: Schneckenhöhentyp / hydraulische Höhentyp / manuelle Höhen, Hand eng / Auto Lock-Ring tight
2. Ofengefäß: Alle Kohlenstoffstahl / Innenschicht aus rostfreiem Stahl / Total rost steel
3. Ofen heiße Zone: Weich Kohlenstoff-Filz / Soft Graphitfilz / Hard Verbund Filz / CFC
4. Heizelement und Muffel: isostatischen Presse Graphit / Presse hohe Reinheit, hohe Festigkeit und hoher Dichte Graphit / feine Größe graphite
5. Prozessgassystems: Volumen / Massedurchfluss-Messgerät, Handventil / Auto-Ventil, Ausländische Marken / Chinese brand
6. Vakuumpumpe und Manometer: Ausländische Marken / Chinese brand
7. HMI: Simulation Bildschirm / Touchscreen / Industrie persönlichen computer
8. PLC: OMRON / Siemens
9. Temperaturregler: Shimaden / EUROTHERM
10. Thermoelement: Typ C, Typ S, Typ K, N type
11. Recorder: Bildschirmschreiber / Papier-Recorder, Ausländische Marken / Chinese brand
12. Elektrische Bauteile: CHINT / Schneider / Siemens

Technische Daten des Vertikal-CVD-Rohrofen

Spec. \ Modell	VCVD-0305-SIC	VCVD-0508- SIC	VCVD-0812- SIC	VCVD-1015- SIC	VCVD-1218- SIC	VCVD-1520- SIC
Working Zone Größe (T × H) (mm)	Φ300 × 500	Φ500 × 800	Φ800 × 1200	Φ1000 × 1500	Φ1200 × 1800	Φ1500 × 2000
Tragkraft (kg)	50	150	500	1000	2000	3000
Max.Temperatur (° C)	1500	1500	1500	1500	1500	1500
Temperaturverteilung (° C)	± 5	± 5	± 7,5	± 7,5	± 10	± 10
Heizleistung von Vakuum chemische Gasphasenabscheidung Ofen ((kW)	45	90	180	300	420	540
Endvakuum (Pa)	20	20	20	20	20	20
Drucksteigerungsrate (Pa / h)	0.67	0.67	0.67	0.67	0.67	0.67
Die oben genannten Parameter können an die Prozessanforderungen angepasst werden, sind sie nicht als Annahme-Standard, der Detail spec. wird im technischen Angebot und Vereinbarungen festgehalten werden.