Vertical CVD Furnace(C)

Beschreibung
Vertical CVD-Ofen (Carbon) ist für Verbundwerkstoff CVD, die Kohlenwasserstoffgas (wie C3H8) als Kohlenstoffquellen eingesetzt. Es funktioniert auf CVD und CVI-Behandlung für Kohlenstoffmaterialien.

Technische Eigenschaften
1. Mit verschiedenen Temperaturregelzonen je nach Arbeitsbereich Größe, versichert große Temperatur uniformity.
2. Die Voraus Steuerungstechnik wird angenommen, um Durchfluss und Druck von MTS zu steuern, zu realisieren, stabile Abscheidung Luftstrom und kleine Druckschwankung range.
3. Der neu gestaltete Anti-Korrosions-Vakuum-Einheit sorgt für lange ununterbrochene Arbeitsdauer und niedrige maintainence rate.
4. Die vertikale Vakuum-Kohlenstoffrohrofen verwendet speziell entwickelte Beschichtungskammer, die gute Dichtwirkung und große Kontaminationsschutz Leistung sichert.
5. Mehrere Abscheidungskanäle gewährleisten Durchflußeinheitlichkeit Feld, nicht-Abscheidung tote Ecke und große Ablagerung surface.
6. Hohe korrosive Abgas, brennbare und explosions Gas, Fest Staub und niedrigem Schmelzpunkt Produkt kann wirksam in den Prozess der deposition.

behandelt werdenOptionale Konfiguration des Vertical CVD-Ofen 
1. Ofentür: Schneckenhöhentyp / hydraulische Höhentyp / manuelle Höhen, Hand eng / Auto Lock-Ring tight
2. Ofengefäß: Alle Kohlenstoffstahl / Innenschicht aus rostfreiem Stahl / Total rost steel
3. Ofen heiße Zone: Weich Kohlenstoff-Filz / Soft Graphitfilz / Hard Verbund Filz / CFC
4. Heizelement und Muffel: isostatischen Presse Graphit / Presse hohe Reinheit, hohe Festigkeit und hoher Dichte Graphit / feine Größe graphite
5. Prozessgassystems: Volumen / Massedurchfluss-Messgerät, Handventil / Auto-Ventil, Ausländische Marken / Chinese brand
6. Vakuumpumpe und Manometer: Ausländische Marken / Chinese brand
7. HMI: Simulation Bildschirm / Touchscreen / Industrie persönlichen computer
8. PLC: OMRON / Siemens
9. Temperaturregler: Shimaden / EUROTHERM
10. Thermoelement: Typ C, Typ S, Typ K, N type
11. Recorder: Bildschirmschreiber / Papier-Recorder, Ausländische Marken / Chinese brand
12. Elektrische Bauteile: CHINT / Schneider / Siemens

Technische Daten des Vertical CVD-Ofen

Spec. \ Modell	VCVD-0305-C	VCVD-0508-C	VCVD-0812-C	VCVD-1015-C	VCVD-1218-C	VCVD-1520-C
Working Zone Größe (T × H) (mm)	Φ300 × 500	Φ500 × 800	Φ800 × 1200	Φ1000 × 1500	Φ1200 × 1800	Φ1500 × 2000
Tragkraft (kg)	50	150	500	1000	2000	3000
Max.Temperatur (° C)	1500	1500	1500	1500	1500	1500
Temperaturverteilung (° C)	± 5	± 5	± 7,5	± 7,5	± 10	± 10
Heizleistung vertikale Vakuum-Kohlenstoffrohrofen (kW)	45	90	180	300	420	540
Endvakuum (Pa)	20	20	20	20	20	20
Druckanstiegsrate (Pa / h)	0.67	0.67	0.67	0.67	0.67	0.67
Die oben genannten technischen Daten sich auf die Prozessanforderungen angepasst werden, sind sie nicht als Annahme-Standard, der Detail spec. wird im technischen Angebot und Vereinbarungen festgehalten werden.