Yatay CVD Fırını (SiC)

Açıklama
Horizontal CVD tüp fırın (Silisyum Karbür) make  malzeme yüzey oksidasyon dirençli kaplamaya hava kaynağı olarak (MTS) Methyltrichlorosilane kullanır ve matris material.

karakterleri değiştirmekTeknik özellikler
1. Yüksek korozif kuyruk gaz, yanıcı ve patlama gaz, katı toz ve düşük erime noktası ürün biriktirme process.
2 sırasında etkili bir şekilde tedavi edilebilir. Yatay kimyasal buhar biriktirme fırın iyi sızdırmazlık etkisi ve güçlü kirlilik yeteneği sağlar özel tasarlanmış biriktirme bölmesi kullanır.
3. En ileri kontrol teknolojisi istikrarlı biriktirme hava akışını ve dar basınç dalgalanması range.
4 gerçekleştirerek, hassas kontrol MTS akış ve basınç benimsenmiştir. Yeni tasarım, anti korozyon vakum ünitesi, uzun sürekli çalışma süresi ve düşük maintainence rate.
5 sağlar. Çoklu birikim kanalları akış alanı düzgünlüğü olmayan biriktirme ölü köşesi ve daha iyi çökelme effect.

ulaşmakYatay CVD Ocağı Opsiyonel Yapılandırması
1. Fırın kapı: Hing dönüm tipi / arabalı, Manuel sıkı / Otomatik kilit halkası tight
2. Fırın kabı: Tüm karbon çeliği / İç katman paslanmaz çelik / Toplam paslanmaz steel
3. Sıcak bölge fırın: Yumuşak karbon / Yumuşak grafit / Sert kompozit / CFC
4 keçe hissettim. Isıtma elemanı ve kül: İzostatik basın grafit / Basın yüksek saflıkta, yüksek mukavemetli ve yüksek yoğunluklu grafit / ince boyut graphite
5. Süreç gaz sistemi: Cilt / Kütle akış metre, Manuel valf / Otomatik vana, yabancı marka / Çin brand
6. Vakum pompası ve ölçü: Yabancı marka / Çin brand
7. HMI: Simülasyon ekran / Dokunmatik ekran / Endüstriyel kişisel computer
8. PLC: OMRON / Siemens
9. Sıcaklık kontrolörü: SHIMADEN / EUROTHERM
10. Termokupl: C tipi, S tipi, K tipi, N type
11. Kaydedici: Kağıtsız kaydedici / kağıt kaydedici, yabancı marka / Çin brand
12. Elektrik bileşenleri: CHINT / Schneider / Siemens
13. Yük Kamyonet: silindir tipi / Çatal tip / Katlanmış uzun mesafe sürüş type

Yatay CVD Tüp Fırın Özellikleri

Spec. \ Modeli	HCVD-060.609-Cı	HCVD-080.812-Cı	HCVD-101.015-Cı	HCVD-121.225-Cı	HCVD-151.530-Cı	HCVD-252.035-Cı	HCVD-252.550-Cı
Çalışma Bölge Boyut (G × Y × L) (mm)	600 × 600 × 900	× 800 × 1200 800	× 100 × 1500 1000	× 200 × 2500 1200	1500 × 1500 × 3000	2500 × 2000 × 3500	2500 × 2500 × 5000
Yük kapasitesi (kg)	300	800	1500	2500	5000	10000	20000
Max.Temperature (° C)	1500	1500	1500	1500	1500	1500	1500
Sıcaklık Tekdüzeliği (° C)	7.5 ±	7.5 ±	7.5 ±	± 10	± 10	± 15	± 15
Yatay kimyasal buhar biriktirme fırının Isıtma Gücü (kW)	210	360	480	600	900	1200	1800
Nihai vakum (Pa)	20	20	20	20	20	20	20
Basınç Artış Oranı (Pa / s)	0.67	0.67	0.67	0.67	0.67	0.67	0.67
Yukarıdaki parametreler süreç gereksinimlerine göre ayarlanabilir, onlar kabul standardı, detay spec olarak değil. Teknik önerisi ve anlaşmalarda belirtilecektir.