Dikey CVD Fırını (C)

Açıklama
Vertical CVD fırını (karbon) karbon kaynakları olarak (C3H8) gibi bir hidrokarbon gaz kullanarak kompozit malzeme CVD kullanılır. Karbon malzemeler için CVD ve CVI tedavi çalışır.

Teknik özellikler
1. Büyük sıcaklık uniformity.
2 güvence çalışma bölgesi büyüklüğüne göre farklı sıcaklık kontrol bölgeleri kullanma. En ileri kontrol teknolojisi istikrarlı biriktirme hava akışını ve küçük basınç dalgalanması range.
3 gerçekleştirerek, akış ve MTS basıncını kontrol etmek benimsenmiştir. Yeni tasarlanan anti-korozyon vakum ünitesi, uzun sürekli çalışma süresi ve düşük maintainence rate.
4 sağlar. Dikey vakum karbon tüp fırın iyi sızdırmazlık etkisi ve büyük kirlenme koruma performans sağlar özel tasarlanmış biriktirme bölmesi kullanır.
5. Çoklu birikim kanalları akış alanı tekdüzelik olmayan biriktirme ölü köşe ve büyük birikim surface.
6 sağlamak. Yüksek korozif kuyruk gaz, yanıcı ve patlama gaz, katı toz ve düşük erime noktası ürün deposition.

sürecinde etkili biçimde tedavi edilebilirDikey CVD Ocağı Opsiyonel Yapılandırması 
1. Fırın kapı: vida yükseklik tipi / hidrolik yükseklik türü / manuel yükseklik, Manuel sıkı / Otomatik kilit halkası tight
2. Fırın kabı: Tüm karbon çeliği / İç katman paslanmaz çelik / Toplam paslanmaz steel
3. Sıcak bölge fırın: Yumuşak karbon / Yumuşak grafit / Sert kompozit / CFC
4 keçe hissettim. Isıtma elemanı ve kül: İzostatik basın grafit / Basın yüksek saflıkta, yüksek mukavemetli ve yüksek yoğunluklu grafit / ince boyut graphite
5. Süreç gaz sistemi: Cilt / Kütle akış metre, Manuel valf / Otomatik vana, yabancı marka / Çin brand
6. Vakum pompası ve ölçü: Yabancı marka / Çin brand
7. HMI: Simülasyon ekran / Dokunmatik ekran / Endüstriyel kişisel computer
8. PLC: OMRON / Siemens
9. Sıcaklık kontrolörü: SHIMADEN / EUROTHERM
10. Termokupl: C tipi, S tipi, K tipi, N type
11. Kaydedici: Kağıtsız kaydedici / kağıt kaydedici, yabancı marka / Çin brand
12. Elektrik bileşenleri: CHINT / Schneider / Siemens

Dikey CVD Ocağı Özellikleri

Spec. \ Modeli	VCVD-0305-Cı	VCVD-0508-Cı	VCVD-0812-Cı	VCVD-1015-Cı	VCVD-1218-Cı	VCVD-1520-Cı
Çalışma Bölge Boyut (D × Y) (mm)	Φ300 500 ×	Φ500 800 ×	Φ800 1200 ×	Φ1000 1500 ×	Φ1200 1800 ×	Φ1500 2000 ×
Yük kapasitesi (kg)	50	150	500	1000	2000	3000
Max.Temperature (° C)	1500	1500	1500	1500	1500	1500
Sıcaklık Tekdüzeliği (° C)	± 5	± 5	7.5 ±	7.5 ±	± 10	± 10
Dikey vakum karbon tüp fırında ısıtma gücü (kW)	45	90	180	300	420	540
Nihai vakum (Pa)	20	20	20	20	20	20
, Basınç yükselme hızı (Pa / h)	0.67	0.67	0.67	0.67	0.67	0.67
Yukarıdaki özellikler süreç gereksinimlerine göre ayarlanabilir, onlar kabul standardı, detay spec olarak değil. Teknik önerisi ve anlaşmalarda belirtilecektir.