Dikey CVD Fırını (SiC)

Açıklama
Vertical CVD tüp fırın (Silisyum Karbür) malzeme yüzeyi oksitlenme direnci kaplama yapmak ve matriks material.
 
karakterleri değiştirmek için hava kaynağı olarak (MTS) Methyltrichlorosilane benimserTeknik özellikler
1. En ileri kontrol teknolojisi istikrarlı biriktirme hava akışını ve küçük basınç dalgalanması range.
2 gerçekleştirerek, akış ve MTS basıncını kontrol etmek benimsenmiştir. Vakum kimyasal buhar biriktirme fırın iyi sızdırmazlık etkisi ve büyük kirlenme koruma performans sağlar özel tasarlanmış biriktirme bölmesi kullanır.
3. Çoklu birikim kanalları akış alanı tekdüzelik olmayan biriktirme ölü köşe ve büyük birikim surface.
4 sağlamak. Bu biriktirme process.
5 sırasında yüksek korozif kuyruk gaz tedavisi, yanıcı ve patlayıcı gaz, katı toz ve düşük erime noktası yapışkan malzemeler vardır. Yeni tasarım, anti korozyon vakum ünitesi uzun sürekli çalışma saatleri ve kısa maintainence time.

sağlarDikey CVD Tüp Fırın Opsiyonel Yapılandırması
1. Fırın kapı: vida yükseklik tipi / hidrolik yükseklik türü / manuel yükseklik, Manuel sıkı / Otomatik kilit halkası tight
2. Fırın kabı: Tüm karbon çeliği / İç katman paslanmaz çelik / Toplam paslanmaz steel
3. Sıcak bölge fırın: Yumuşak karbon / Yumuşak grafit / Sert kompozit / CFC
4 keçe hissettim. Isıtma elemanı ve kül: İzostatik basın grafit / Basın yüksek saflıkta, yüksek mukavemetli ve yüksek yoğunluklu grafit / ince boyut graphite
5. Süreç gaz sistemi: Cilt / Kütle akış metre, Manuel valf / Otomatik vana, yabancı marka / Çin brand
6. Vakum pompası ve ölçü: Yabancı marka / Çin brand
7. HMI: Simülasyon ekran / Dokunmatik ekran / Endüstriyel kişisel computer
8. PLC: OMRON / Siemens
9. Sıcaklık kontrolörü: SHIMADEN / EUROTHERM
10. Termokupl: C tipi, S tipi, K tipi, N type
11. Kaydedici: Kağıtsız kaydedici / kağıt kaydedici, yabancı marka / Çin brand
12. Elektrik bileşenleri: CHINT / Schneider / Siemens

Dikey CVD Tüp Fırın Özellikleri

Spec. \ Modeli	VCVD-0305-SIC	VCVD-0508- SIC	VCVD-0812- SIC	VCVD-1015- SIC	VCVD-1218- SIC	VCVD-1520- SIC
Çalışma Bölge Boyut (D × Y) (mm)	Φ300 500 ×	Φ500 800 ×	Φ800 1200 ×	Φ1000 1500 ×	Φ1200 1800 ×	Φ1500 2000 ×
Yük kapasitesi (kg)	50	150	500	1000	2000	3000
Max.Temperature (° C)	1500	1500	1500	1500	1500	1500
Sıcaklık Tekdüzeliği (° C)	± 5	± 5	7.5 ±	7.5 ±	± 10	± 10
Vakumlu kimyasal buhar biriktirme fırının Isıtma Gücü ((kW)	45	90	180	300	420	540
Nihai vakum (Pa)	20	20	20	20	20	20
Basınç Artış Oranı (Pa / s)	0.67	0.67	0.67	0.67	0.67	0.67
Yukarıdaki parametreler süreç gereksinimlerine göre ayarlanabilir, onlar kabul standardı, detay spec olarak değil. Teknik önerisi ve anlaşmalarda belirtilecektir.